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Z 8126-3 : 1999

(1) 

まえがき

この規格は,工業標準化法に基づいて,日本工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が制定した日

本工業規格である。これによって,JIS Z 8126 : 1990 は廃止され,この JIS Z 8126 群に置き換えられる。

今回の制定によって,JIS Z 8126 群は,ISO 3529 Vacuum technology−Vocabulary)  の各部に一致した規格

となる。

JIS Z 8126

群は,規格の名称の前付け及び主題を“真空技術−用語”とし,次の各部からなる。

第 部:一般用語

第 部:真空ポンプ及び関連用語

第 部:真空計及び関連用語

JIS Z 8126-3

には,次に示す附属書がある。

附属書(参考)  真空計の分類


日本工業規格

JIS

 Z

8126-3

 : 1999

真空技術−用語−

第 3 部:真空計及び関連用語

Vacuum technology

−Vocabulary−

Part 3 : Vacuum gauges and related terms

序文  この規格は,1981 年に第 1 版として発行された ISO 3529-3, Vacuum technology−Vocabulary−Part 3 :

Vacuum gauges and related terms

を翻訳し,技術的内容を変更することなく作成した日本工業規格であるが,

対応国際規格に規定されていない用語を日本工業規格として追加している。

なお,この規格で点線の下線を施してある部分は原国際規格にはない事項である。

1.

適用範囲  この規格は,真空技術・真空工業に関する主な真空計及び関連用語について規定する。

備考  この規格の対応国際規格を,次に示す。

ISO 3529-3 : 1981

  Vacuum technology−Vocabulary−Part 3 : Vacuum gauges and related terms

2.

用語及び定義  用語,定義及び対応する外国語は,次のとおりとする。

なお,対応する外国語のうち,独語は ISO 3529-3 で公用語である英語・仏語と同等としているが,ISO

の用語とみなしてはいない。

2.1

真空計の一般用語

番号

用語

定義

対応する外国語

2.1.1 

(気体の)圧力

気体・蒸気の圧力を測定する計器。

(英)pressure gauge 
(独)Manometer (n)

(仏)manomètre (m)

2.1.2 

真空計

気体・蒸気の大気圧より低い圧力を測定

する計器。多くの場合,測定子と制御計
測部とからなる。

備考  普通に用いられている真空計

には,この規格に規定する意
味の“圧力”を直接には測定
せず,特定の条件の下で圧力

に関連した他の物理量を測定
しているものが多い。

(英)vacuum gauge

(独)Vakuumme

βgerät (n) ;

      Vakuummeter (n) 
(仏)manomètre à vide (m)

2.1.2.1 

測定子

真空計において,感圧機能を備え,真空

系に取り付けられる真空計の構成部品。

(英)gauge head

(独)Vakuumme

βsystem (n) ;

      Vakuumme

βröhre (f) ;

      Vakuumme

βzelle (f) ;

      Vakuumme

βkopf (m)

(仏)capteur (m)


2

Z 8126-3 : 1999

番号

用語

定義

対応する外国語

2.1.2.1.1 

裸真空計(測定
子)

真空系に直接挿入される外囲器がない
測定子。

(英)nude gauge 
(独)Einbaume

βsystem (n)

(仏)capteur inséré (m)

2.1.2.2 

制御計測部

測定子を作動させ,計測するのに必要な
真空計の制御回路。

(英)gauge control unit 
(独)Betriebs-und Anzeigegerät eines

Vakuumme

βgerätes (n)

(仏)coffret d’alimentation et de mesure (m)

2.1.2.2.1 

表示部

出力信号を,通常は圧力の単位で表示す

る真空計の構成部品。

(英)gauge indicating unit

(独)Anzeigegerät eines Vakuumme

βgerätes (n)

(仏)dispositif indicateur (m)

2.2

真空計の一般的な分類

番号

用語

定義

対応する外国語

2.2.1 

差圧真空計

媒体を用いて,その両端にかかる圧力差

を測定する真空計。例えば,可とう膜又
は液柱を用いる。

(英)differential vacuum gauge

(独)Differenzdruck-vakuummeter (n) 
(仏)manomètre différentiel (m)

2.2.2 

絶対真空計

物理量の測定だけから圧力が求められ
る真空計。

(英)absolute vacuum gauge 
(独)absolutes Vakuummeter (n) 
(仏)manomètre absolu (m)

2.2.3 

全圧(真空)計  気体の全圧を測定する真空計。

(英)total pressure vacuum gauge 
(独)Totaldruckvakuummeter (n) 
(仏)manomètre de pression totale (m)

2.2.4 

分圧(真空)計  混合気体の成分の分圧を測定する真空

計。現用されている分圧真空計のほとん

どは質量分析計の一種である。

(英)partial pressure vacuum gauge ; 
      partial pressure analyzer

(独)Partialdruckvakuummeter (n) 
(仏)analyseur de pressions partielles (m)

2.3

真空計の特性

番号

用語

定義

対応する外国語

2.3.1 

(真空計の)圧
力範囲

真空計を所定の条件で動作させたとき,
指示値の誤差がその真空計の最大許容

誤差を超えない圧力範囲。

(英)pressure range of a vacuum gauge 
(独)Me

βbereich eines Vakuummeters (m)

(仏)ètendue de mesurage d’un manomètre à vide

(f)

2.3.2 

感度

真空計に指示された読みの変化と相当
する圧力変化との比。

(英)sensitivity coefficient ; sensitivity 
(独)Empfindlichkeit eines Vakuummeters (f) 
(仏)coefficient de sensibilité (m) ;

      sensibilité

2.3.3 

比感度

真空計のある気体に対する感度と,その

真空計の同一条件下における同一圧力
の窒素,に対する感度との比。

(英)relative sensitivity factor

(独)relative Vakuummeter empfindlichkeit (f) 
(仏)facteur de sensibilité relative (m)

2.3.4 

(電離真空計
の)感度係数

与えられた気体に対して,電離真空計の

定められた動作条件の下でのイオン電
流を,イオン化のための電子電流と圧力
との積で除した値。

(英)ionization gauge coefficient

(独)Vakuummeterkonstante eines

Ionisations-vakuummeters (f)

(仏)coefficient d’un manomètre à ionisation (m)

2.3.5 

窒素相当圧, 
窒素換算値

窒素に対する感度で補正した圧力値。窒
素に対して校正された真空計の場合は,

その真空計の読み値。

(英)equivalent nitrogen pressure 
(独)Stickstoffäquivalentdruck (m)

(仏)pression équivalente d’azote (f)

2.3.6 X

線限界

熱陰極電離真空計で,集電子電極から放
出される軟 X 線によって,主として集イ

オン電極から放出される光電子による
残留電流に対応する窒素相当圧。

(英)X-ray limit 
(独)Röntgengrenze (f)

(仏)limite due aux rayons X


3

Z 8126-3 : 1999

2.4

全圧真空計

2.4.1

機械的現象に基づく真空計

番号

用語

定義

対応する外国語

2.4.1.1 

液柱差真空計

隔離媒体として液柱差を用いる差圧真
空計。通常は,U 字管状である。

(英)liquid level manometer 
(独)Flüssigkeitsvakuummeter (n)

(仏)manomètre à liquide (m)

2.4.1.1.1 

U

字管真空計

U

字管を用いる液柱差真空計。

(英)U-tube manometer

(独)U-Rohr Vakuummeter (n) 
(仏)manomètre à tube en U (m)

2.4.1.2 

弾性真空計

弾性体(板,管など)を隔離媒体とした

差圧真空計。弾性体の変位から圧力を求
める。代表的なものに,隔膜真空計とブ
ルドン管真空計とがある。

(英)elastic element gauge

(独)federelastisches Vakuummeter (n) 
(仏)manomètre à déformation (m)

2.4.1.2.1 

隔膜真空計

隔離媒体に可とう隔膜を用いる弾性真
空計。

(英)diaphragm gauge 
(独)Membranvakuummeter (n)

(仏)manomètre à membrane (m)

2.4.1.2.2 

ブルドン管真
空計

隔離媒体にブルドン管を用いる弾性真
空計。

(英)Bourdon gauge 
(独)Bourdonrohre Vakuummeter (n)

(仏)manomètre à tube de Bourdon (n)

2.4.1.3 

圧縮真空計

気体を既知の比率で圧縮し,その圧力を

測定して圧縮前の圧力を求める真空計。
ボイルの法則が適用できる場合にだけ
用いる。代表的なものに,マクラウド真

空計がある。

(英)compression gauge

(独)Kompressionsvakuummeter (n) 
(仏)manomètre à compression (m)

2.4.1.3.1 

マクラウド真
空計

水銀柱を移動することによって気体を
圧縮し,その気体の圧力を液柱差によっ

て求める圧縮真空計。

(英)McLeod gauge 
(独)McLeod Vakuummeter (n)

(仏)manomètre de McLeod    (m)

2.4.1.4 

圧力天びん

断面積が既知のピストンに質量が既知

の分銅を載せて圧力と重力とをバラン
スさせて圧力を測定する真空計。

(英)pressure balance

(独)Druckwaage (f) 
(仏)manomètre à piston (m)

2.4.2

気体の輸送現象に基づく真空計

番号

用語

定義

対応する外国語

2.4.2.1 

粘性真空計

低圧気体の粘性が気体の圧力に依存す
ることを利用して,物体の表面に働く粘

性力の変化を計測して圧力を求める真
空計。

(英)viscosity gauge 
(独)Reibungsvakuummeter (n)

(仏)manomètre à viscosité (m)

2.4.2.2 

熱伝導真空計

低圧気体の熱伝導が気体の圧力に依存
することを利用し,素子の温度変化を計
測して圧力を求める真空計。代表的なも

のに,ピラニ真空計,サーミスタ真空計,
熱電対真空計,及びバイメタル真空計が
ある。

(英)thermal conductivity gauge 
(独)Wärmeleitungsvakuummeter (n) 
(仏)manomètre à conduction thermique (m)

2.4.2.2.1 

ピラニ真空計

加熱されている素子が金属細線で,その
電気抵抗が温度によって変化すること

を利用する熱伝導真空計。

(英)Pirani gauge 
(独)Piranivakuummeter (n)

(仏)manomètre de Pirani (m)

2.4.2.2.2 

サーミスタ真
空計

加熱されている素子がサーミスタで,そ
の電気抵抗が温度によって変化するこ

とを利用する熱伝導真空計。

(英)thermistor gauge 
(独)Thermistor-Vakuummeter (n)

(仏)manomètre à thermistance (m)


4

Z 8126-3 : 1999

番号

用語

定義

対応する外国語

2.4.2.2.3 

熱電対真空計

加熱されている素子の温度を熱電対に
よって測定する熱伝導真空計。

(英)thermocouple gauge 
(独)thermoelektrisches Vakuummeter (n) 
(仏)manomètre à thermocouple (m)

2.4.2.3 

クヌーセン真
空計

気体分子の平均自由行程に比べてかな
り小さい間隔を保って配置され,かつ,

異なった温度に保たれている,2 面間で
の運動量輸送速度を測定することによ
って圧力を求める真空計。

(英)thermo-molecular gauge 
(独)Molekularvakuummeter (n)

(仏)manomètre thermo-moléculaire

2.4.3

気体中の電離現象に基づく真空計

番号

用語

定義

対応する外国語

2.4.3.0 

電離真空計

電離によって気体中で生成されたイオ

ン電流を測定して圧力を求める真空計。

(英)ionization vacuum gauge

(独)Ionisationsvakuummeter (n) 
(仏)manomètre à ionisation

2.4.3.1 

放射線真空計

放射線源によって気体を電離する電離
真空計。

(英)radioactive ionization gauge 
(独)Ionisations-vakuummeter (n) mit

radioaktiver Strahlungsquelle

(仏)manomètre à source radioactive (m)

2.4.3.2 

冷陰極電離真
空計

冷陰極放電によって気体を電離する電

離真空計。

(英)cold cathode ionization gauge

(独)Kaltkathodenionisationsvakuummeter (n) 
(仏)manomètre à cathode froide (m)

2.4.3.2.1 

ペニング真空

一対の平行平板陰極間に環状陽極を置

き,それらの軸に平行に磁界をかける冷
陰極電離真空計。

(英)Penning gauge

(独)Penningvakuummeter (n) 
(仏)manomètre de Penning (m)

2.4.3.2.2 

冷陰極マグネ
トロン真空計

同軸円筒状に電極を配置し,電界に垂直
に磁界をかける冷陰極電離真空計。陽極
を内側に配置したものを逆マグネトロ

ン真空計と呼ぶ。

(英)cold cathode magnetron gauge 
(独)Magnetronvakuummeter (n) mit kalter

Kathode ;

      invertiertes Magnetronvakuummeter (n) 
(仏)manomètre magnétron à cathode froide (m)

2.4.3.2.3 

ガイスラ管

透明なガラス管内に一対の電極をもち,

その間の真空放電の色及び形状によっ
て気体の圧力及び種類の概略を示す真
空計。

(英)discharge tube indicator

(独)Hochfrequenzvakuumprüfer (m) 
(仏)tube témoin (m)

2.4.3.3 

熱陰極電離真
空計

熱陰極から放出された電子によって気
体を電離する電離真空計。

(英)hot cathode ionization gauge 
(独)Glühkathodenionisationsvakuummeter (n)

(仏)manomètre à cathode chaude (m)

2.4.3.3.1 

三極管形電離
真空計

通常の三極管構造をもつ熱陰極電離真
空計。フィラメント状熱陰極を管の軸上

に置き,グリッド状陽極及びプレート状
集イオン電極をフィラメントと同軸的
に配置したもの。

(英)triode gauge 
(独)Glühkathodenionisationsvakuummeter

konventioneller Bauart (n)

(仏)manomètre triode (m)

2.4.3.3.2 

高圧力電離真
空計

通常の三極管形電離真空計の圧力範囲
に比べて高い圧力の中真空で動作する

熱陰極電離真空計。

(英)high pressure ionization gauge 
(独)Feinvakuumionisationsvakuummeter (n)

(仏)manomètre à ionisation pour vide moyen (m)

2.4.3.3.3 

ベアード−ア
ルパート真空
計, 
B-A

真空計

同筒状グリッドの外側に熱陰極を,ま
た,軸上に細線の集イオン電極を配置し

て,X 線限界を低下させた熱陰極電離真
空計。

(英)Bayard-Alpert gauge 
(独)Bayard-Alpert-Ionisationsvakuummeter (n)

(仏)manomètre Bayard-Alpert (m)


5

Z 8126-3 : 1999

番号

用語

定義

対応する外国語

2.4.3.3.4 

モジュレータ
真空計

モジュレータとしての補助電極を設け,
その電位変化による集イオン電極電流
の変化を測定し,残留電流の影響を見積

もることができるようにしたベアード
−  アルパート真空計。

(英)modulator gauge 
(独)Bayard-Alpert-Ionisationsvakuummeter mit

Modulator (n)

(仏)manomètre à modulateur (m)

2.4.3.3.5 

サプレッサ真
空計

サプレッサ電極を集イオン電極の近傍
に設け,集イオン電極からの二次電子放
出の影響を抑えて X 線限界を低下させ

た熱陰極電離真空計。

(英)suppressor gauge 
(独)Ionisationsvakuummeter mit

Suppressor-System (n)

(仏)manomètre à suppresseur (m)

2.4.3.3.6 

エキストラク
タ真空計

集イオン電極を円筒状グリッドの軸上
の外側に置くことによってグリッドか

ら遮へいして X 線限界を低下させた熱
陰極電離真空計。

(英)extractor gauge 
(独)Ionisationsvakuummeter mit

Extraktor-System (n)

(仏)manomètre à extracteur (m)

2.4.3.3.7 

オービトロン
真空計

電子軌道が長くなるように円筒状の集
イオン電極とその軸上に細線の集電子
電極を配置し,少ない電子で多くのイオ

ンを発生して X 線限界を低下させた熱
陰極電離真空計。

(英)orbitron gauge 
(独)  − 
(仏)manométre orbitron (m)

2.4.3.3.8 

湾曲ビーム真
空計

電離領域からイオンを静電偏向器へ引

き出すことによって X 線限界を低下さ
せた熱陰極電離真空計。

(英)bent beam gauge

(独)Ionisationsvakuummeter mit abgelenktem

(m) ;

      Ionen-strahl bent Beam Vakuummeter (n)

(仏)manomètre à deflecteur electrostatique (m)

2.4.3.3.9 2

線式発振真空

円筒状の集イオン電極とその中心部に

電子が電極間で発振するように 2 本の細
線状平行集電子電極を配置して,少ない
電子で多くのイオンを発生して X 線限

界を低下させた熱陰極電離真空計。

(英)twin-wire oscillator gauge

(独)  − 
(仏)manomètre à électrons oscillants (m)

2.4.3.3.10 

熱陰極マグネ
トロン真空計

単純な円筒状マグネトロン構造をもつ
真空計に熱陰極を付加した熱陰極電離

真空計。

(英)hot cathode magnetron gauge 
(独)  −

(仏)manomètre magnétron à cathode chaude (m)

2.5

分圧真空計

番号

用語

定義

対応する外国語

2.5.1 

質量分析計

質量/電荷比の異なるイオン化された
粒子を選別し,イオン電流を測る機器。

(英)mass spectrometer 
(独)Massenspektrometer (n)

(仏)spectromètre de masse

2.5.2

電界を利用する質量分析計

番号

用語

定義

対応する外国語

2.5.2.1 

高周波形質量
分析計

一対のグリッドによって正負交互に形
成される高周波電界によって,イオンを

選択的に加速して分離する質量分析計。

(英)radio frequency mass spectrometer 
(独)Hochfrequenzresonanzspektrometer (n)

(仏)analyseur radiofréquence (m)

2.5.2.2 

四極子形質量
分析計, 
四重極形質量
分析計

4

本の柱状電極によって形成される一定

比の直流電界及び高周波電界によって
イオンを分離する質量分析計。

(英)quadrupole mass spectrometer

(独)Vierpolmassenspektrometer (n) ;   
      Quadrupo-massenspektrometer (n) 
(仏)analyseur quadripolaire (m)

2.5.2.3 

単極子形質量
分析計

L

形の電極及び 1 本の柱状電極によって

形成される一定比の直流電界及び高周
波電界によってイオンを分離する質量

分析計。

(英)monopole mass spectrometer 
(独)Einpolmassen-spektrometer (n) ;   
      Monopol-massenspektrometer

(仏)analyseur monopolaire (m)


6

Z 8126-3 : 1999

2.5.3

電界及び磁界を利用する質量分析計

番号

用語

定義

対応する外国語

2.5.3.1 

磁界偏向形質
量分析計

静電界で加速されたイオンの軌道を磁

界で偏向することによってイオンを分
離する質量分析計。

(英)magnetic deflection mass spectrometer

(独)einfachfokussierendes Massenspektrometer

(n) mit magnetischem Sektorfeld

(仏)analyseur à secteur magnétique (m)

2.5.3.2 

二重収束形質
量分析計

放射状の静電界と磁界でイオンの軌道
を二重に偏向することによって,イオン

の速度分散を小さくした質量分析計。

(英)double focusing mass spectrometer 
(独)doppeltfokussierendes Massenspektrometer

(n)

(仏)analyseur à double focalisation (m)

2.5.3.3 

トロコイド形
質量分析計

直交した静電界及び静磁界の中におけ

るイオン軌道がトロコイド形になるこ
とを利用して,イオンを分離する質量分
析計。

(英)trochoidal focusing mass spectrometer

(独)Trochoidenmassen-spektrometer (n) 
(仏)analyseur cycloïdal (m)

2.5.3.4 

オメガトロン
形質量分析計

直交した高周波電界及び静磁界の中で
のイオンのサイクロトロン共鳴現象を

利用して,イオンを分離する質量分析
計。

(英)omegatron mass spectrometer 
(独)Omegatron (n)

(仏)omégatron (m)

2.5.4

飛行時間を利用する質量分析計

番号

用語

定義

対応する外国語

2.5.4.1 

飛行時間形質
量分析計

等しい運動エネルギーをもつイオンの
飛行速度が質量電荷比に依存すること

を利用して,イオンを分離する質量分析
計。

(英)time of flight mass spectrometer 
(独)Laufzeitmassenspektrometer (n)

(仏)analyseur à temps de vol (m)


7

Z 812

6-3 :

1999

附属書(参考)  真空計の分類 


8

Z 812

6-3 :

1999


9

Z 8126-3 : 1999

JIS Z 8126-3

国際整合化委員会  構成表

氏名

所属

(委員長)

平  田  正  紘

工業技術院電子技術総合研究所

大  嶋  清  治

工業技術院標準部

橋  本  繁  晴

財団法人日本規格協会

小  林  正  典

高エネルギー加速器研究機構

荻  原  徳  男

日本原子力研究所関西研究所

福  山  泰  弘

神港精機株式会社

門      芳  生

株式会社芝浦製作所

金  戸      成

株式会社大阪真空機器製作所

岡  原      真

株式会社島津製作所

橋  爪  寛  行

橋爪技術士事務所

榊  原  正  二

日本酸素株式会社

木  村  和  幸

大亜真空株式会社

堀  越  源  一

高エネルギー物理学研究所(名誉教授)

森  本  勝  直

アネルバ株式会社

高  木      望

日本真空技術株式会社

石  川  雄  一

株式会社日立製作所機械研究所

(事務局)

間  山  正  義

日本真空協会

小  林  廣  子

日本真空協会

備考  ○印は分科会委員も兼ねる。