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Z 8126-2 : 1999

(1) 

まえがき

この規格は,工業標準化法に基づいて,日本工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が制定した日

本工業規格である。これによって,JIS Z 8126 : 1990 は廃止され,この JIS Z 8126 群に置き換えられる。

今回の制定によって,JIS Z 8126 群は,ISO 3529 (Vacuum technology−Vocabulary)  の各部に一致した規

格となる。

JIS Z 8126

群は,規格の名称の前付け及び主題を”真空技術−用語”とし,次の各部からなる。

第 部:一般用語

第 部:真空ポンプ及び関連用語

第 部:真空計及び関連用語

JIS Z 8126-2

には,次に示す附属書がある。

附属書(参考)  真空ポンプの分類


日本工業規格

JIS

 Z

8126-2

 : 1999

真空技術−用語−

第 2 部:真空ポンプ及び関連用語

Vacuum technology

−Vocabulary−

Part 2 : Vacuum pumps and related terms

序文  この規格は,1981 年に第 1 版として発行された ISO 3529-2, Vacuum technology−Vocabulary−Part 2 :

Vacuum pumps and related terms を翻訳し,技術的内容を変更することなく作成した日本工業規格であるが,

対応国際規格に規定されていない用語を日本工業規格として追加している。

なお,この規格で点線の下線を施してある部分は原国際規格にはない事項である。

1.

適用範囲  この規格は,真空技術・真空工業に関する主な真空ポンプ及び関連用語について規定する。

備考  この規格の対応国際規格を,次に示す。

ISO 3529-2 : 1981

  Vacuum technology−Vocabulary−Part 2 : Vacuum pumps and related terms

2.

用語及び定義  用語,定義及び対応する外国語は,次のとおりとする。

なお,対応する外国語のうち,独語は ISO 3529-2 で公用語である英語・仏語と同等としているが,ISO

の用語と見なしてはいない。

2.1

真空ポンプ

番号

用語

定義

対応する外国語

2.1.0 

真空ポンプ

真空を作り,改善し,保持する機器。基
本的に異なっている二つの種類である気
体輸送式ポンプ(2.1.12.1.2)及び気体ため
込み式ポンプ(2.1.3)とに分類される。

(英)vacuum pump 
(独)Vakuumpumpe (f) 
(仏)pompe à vide (f)

2.1.1 

容積移送式真
空ポンプ

一定体積の気体が吸気口から周期的に隔
離されて排気口に運ばれる真空ポンプ。
ほとんどの容積移送式真空ポンプで,気
体は排気口から排気されるまでに圧縮さ
れる。容積移送式真空ポンプは往復動式
(2.1.1.1)及び回転式(2.1.1.22.1.1.4)の二
つに分類される。

(英)positive displacement (vacuum) pump 
(独)Verdrangervakuumpumpe (f) 
(仏)pompe (à vide) volumtrique (f)

2.1.1.0.1 

ガスバラスト
ポンプ

適量の気体を圧縮過程でポンプ内に導入
し,ポンプ内部で凝縮性気体が凝縮しな
いようにした容積移送式真空ポンプ。

(英)gas ballast (vacuum) pump 
(独)Gasballastvakuumpumpe (f) 
(仏)pompe (à vide) à injection de gaz (f)

2.1.1.0.2 

油封(液封)ポ
ンプ

油又は液体によって運動する部分のすき
まを密閉し,周期的圧縮行程の最後にポ
ンプ無効空間の減少を図っている回転式
容積移送式真空ポンプ。

(英)oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump 
(独)ölgedichtete (flüssigkeitsgedichtete)

Vakuumpumpe (f)

(仏)pompe à vide à bain d'huile (à bain de

liquide)(f)


2

Z 8126-2 : 1999

番号

用語

定義

対応する外国語

2.1.1.0.3 

ドライ(真空)
ポンプ

油又は液体を運動する部分のすきまを
密閉する目的に使用しない容積移送式
真空ポンプ。

(英)dry-sealed vacuum pump 
(独)trockenlaufende Vakuumpumpe (f) 
(仏)pompe à vide sèche (f)

2.1.1.1 

ピストン真空
ポンプ

シリンダ内のピストンの往復運動によ
って気体を圧縮し,排気する容積移送式

真空ポンプ。

(英)piston vacuum pump 
(独)Hubkolbenvakuumpumpe (f)

(仏)pompe à vide à piston altematif (f)

2.1.1.2 

液封真空ポン

固定された翼板をもつ偏心ロータが,液
体を固定壁に押し付けるようになって

いる回転式容積移送式真空ポンプ。その
液体は,固定壁に対し同心のリングを形
成し,ロータ翼板とともにポンプ容積を

変化させる。

(英)liquid ring vacuum pump 
(独)Flussigkeitsringvakuumpumpe (f)

(仏)pompe à vide à anneau liquide (f)

2.1.1.3 

油回転(真空)
ポンプ

油によって,ロータ,ステータ,翼板な

どの部品の間の気密及び無効空間の減
少を図っている容積移送式真空ポンプ。

(英)oil-sealed rotary vacuum pump

2.1.1.3.1 

回転翼形油回
転(真空)ポン

偏心して取り付けられたロータが,ステ

ータの固定表面に対して接線方向に回
転する回転式容積移送式真空ポンプ。ロ
ータには 2 個以上の(通常半径方向の)

溝内をしゅう動する翼板があり,この翼
板がステータ内部をしゅう動し,ステー
タ内を幾つかの容積が変化する部分に

分割する。

(英)sliding vane rotary vacuum pump

(独)Drehschiebervakuumpumpe (f) 
(仏)pompe à vide à palettes (f)

2.1.1.3.2 

カム形油回転
(真空)ポンプ

ステータ内壁に偏心ロータが接触して

回転する回転式容積移送式真空ポンプ。
ステータに対し相対運動しているしゅ
う動翼板は,ロータに押し付けられ,ス

テータ内を幾つかの容積の変化する部
分に分割する。

(英)rotary piston vacuum pump

(独)  − 
(仏)pompe à vide à piston tournant (f)

2.1.1.3.3 

揺動ピストン
形油回転(真
空)ポンプ

ステータ内壁に対して偏心してロータ

が回転する回転式容積移送式真空ポン
プ。ステータ内は,ロータに固定された
翼板によって,二つの容積が変化する部

分に分割される。翼板は,ステータ内で
適切に囲まれ揺動している気密部分の
中をしゅう動する。

(英)rotary plunger vacuum pump

(独)Sperrschiebervakuumpumpe (f) 
(仏)pompe à vide à piston oscillant (f)

2.1.1.4 

ルーツ(真空)
ポンプ

二つの繭形ロータが互いに反対方向に
連動・同期して,ステータと微小なすき

まを保ちながら,非接触で回転する容積
移送式真空ポンプ。

(英)Roots vacuum pump 
(独)Wälzkolbenvakuumpumpe (f),

      Rootspumpe (f) 
(仏)dépresseur Roots (m)

2.1.1.5 

トロコイドポ
ンプ

ロータ断面がトロコイド曲線(例えば,

だ円。)で,重心が円を描く回転式容積
移送式真空ポンプ。

(英)trochoid pump

(独)Kreiskolbenvakuumpumpe (f) 
(仏)pompetrochoїde (f)

2.1.2 

運動量輸送式
真空ポンプ

気体及び分子に運動量を与え,吸気口か
ら排気口へ連続的に気体を輸送するポ
ンプ。流体作動式と機械式との二つに大

別される。

(英)kinetic vacuum pump 
(独)kinetische Vakuumpumpe (f) 
(仏)pompe à vide cinétique (f)


3

Z 8126-2 : 1999

番号

用語

定義

対応する外国語

2.1.2.1 

ターボ(形)真
空ポンプ

高速で回転するロータによって大量の
気体を輸送する回転式運動量輸送式真
空ポンプ。非接触で回転する密封機構が

ある。気体の流れは,回転軸に平行なも
の(軸流形)と回転軸に直角のもの(半
径流形)とがある。

(英)turbine vacuum pump 
(独)Turbovakuumpumpe (f) 
(仏)dépresseur à turbine (m)

2.1.2.2 

エジェクタポ
ンプ

ベンチュリ効果による圧力降下を利用
して,気体を高速な流れに乗せて排気口

に輸送する運動量輸送式真空ポンプ。粘
性流,中間流で作動する。

(英)ejector vacuum pump 
(独)Treibmittelstrahlvakuum pumpe (f)

(仏)pompe à vide à éjecteur (f) ; 
      éjecteur (m)

2.1.2.2.1 

液体ジェット
真空ポンプ

作動流体が液体(通常は水)であるエジ

ェクタ真空ポンプ。

(英)liquid jet vacuum pump

(独)Flüssigkeitsstrahlvakuum pumpe (f) 
(仏)trompe à vide (f)

2.1.2.2.2 

気体ジェット
真空ポンプ

作動流体が非凝縮性気体であるエジェ
クタ真空ポンプ

(英)gas jet vacuum pump 
(独)Gasstrahlvakuumpumpe (f) 
(仏)éjecteur à gaz pour le vide (m)

2.1.2.2.3 

蒸気ジェット
真空ポンプ

作動流体が蒸気(水蒸気,水銀蒸気,油
蒸気)であるエジェクタ真空ポンプ。

(英)vapour jet vacuum pump 
(独)Dampfstrahlvakuumpumpe (f) ;

Treibdampfvakuumpumpe (f) ;

      Ejektorvakuumpumpe (f) 
(仏)éjecteur à vapeur pour le vide (m)

2.1.2.3 

拡散ポンプ

低い圧力の高速蒸気流が作動流体であ
る運動量輸送式真空ポンプ。気体分子が
この蒸気流内に拡散し,排気口へと輸送

される。蒸気流中では,分子密度は常に
低い。分子流で作動する。

(英)diffusionpump 
(独)Diffusionspumpe (f) 
(仏)pompe à diffusion (f)

2.1.2.3.1 

自己浄化形油
拡散ポンプ

ポンプ作動液の分解による揮発性の不

純物がボイラに戻らずに,排気口に輸送
されるようにした油拡散ポンプ。

(英)self-purifying diffusion pump

(独)selbstreinigende Öldiffusionspumpe (f) 
(仏)pompe à diffusion autorectifiante (f)

2.1.2.3.2 

分留形油拡散
ポンプ

高真空段の作動液には密度の高い低蒸
気圧のものが使用され,低真空段には密
度の低い高蒸気圧の作動液を使用する

ような多段式の油拡散ポンプ。

(英)fractionating diffusion pump 
(独)fraktionierende Öldiffusionspumpe (f) 
(仏)pompe à diffusion fractionnante (f)

2.1.2.4 

拡散エジェク
タポンプ

拡散ポンプとして働く単段又は複数段
のノズルと,エジェクタポンプとして働

く単段又は複数段のノズルをもつ多段
式運動量輸送式真空ポンプ。

(英)diffusion-ejector pump 
(独)Diffusionsejectorpumpe (f)

(仏)pompe à diffusion et à éjecteur (f)

2.1.2.5 

分子ポンプ

高速のロータ表面によって気体分子に
運動量が与えられ,ポンプの排気口の方
向に気体が輸送される運動量輸送式真

空ポンプ。

(英)molecular drag pump 
(独)Molekularpumpe (f) 
(仏)pompe moléculaire mécaniqlue (f)

2.1.2.5.1 

ターボ分子ポ
ンプ

ロータに溝又は羽根があって,それに対
応する同様のステータの間を回転する

分子ポンプ。回転体の周速は,気体分子
の運動速度とほぼ同じである。通常,分
子流条件のもとでその性能を発揮する。

(英)turbo-molecular pump 
(独)Turbomolekularpumpe (f)

(仏)pompe turbomoléculaire (f)

2.1.2.6 

イオン輸送ポ
ンプ

気体分子がイオン化され,電界又は磁界
を伴う電界によって排気口に輸送され

る運動量輸送式真空ポンプ。

(英)ion transfer pump 
(独)Ionentransferpumpe (f)

(仏)pompe à ionisation (f)


4

Z 8126-2 : 1999

番号

用語

定義

対応する外国語

2.1.2.7 

蒸気噴射ポン

蒸気の噴流で排気作用を行う運動量輸
送式真空ポンプ。噴流の排気作用の機構
によって蒸気ジェット真空ポンプ及び

拡散ポンプの区別がある。

(英)vapour pump 
(独)Treibdampfpumpe (f)

2.1.3 

気体ため込み
式真空ポンプ

内表面での吸着又は凝縮などによって

気体分子を捕そくし,ため込むことによ
って排気する真空ポンプ。

(英)entrapment (capture) vacuum pump

(独)gasbinende Vakuumpumpe (f) ;

[Sorptionspumpe (f) und

      Kondensationspumpe (f)]

(仏)pompe à vide à fixation (f)

2.1.3.1 

ソープション
ポプ

例えば,多孔質物質のような実質面積の
大きな物質の表面に,物理的に気体を吸

着して排気する気体ため込み式ポンプ。

(英)adsorption pump 
(独)Adsorptionspumpe (f)

(仏)pompe à physisorption (f) ;   
      pompe à sorption (f)

2.1.3.2 

ゲッタポンプ

気体を主に化学作用によってゲッタに
ため込んで排気するため込み式ポンプ。
ゲッタは,純金属又は合金で,バルク又

は蒸着された活性薄膜を形成している。

(英)getter pump 
(独)Getterpumpe (f) 
(仏)pompe à sorbeur (f)

2.1.3.3 

サブリメーシ
ョンポンプ

ゲッタ材料が昇華されるような気体た
め込み式ポンプ

備考  ここでは蒸発及び昇華は同じ

概念として扱う。

(英)sublimation (evaporation) pump 
(独)Verdampferpumpe (f) ;

      Sublimationspumpe (f) 
(仏)pompe à sublimation (à évaporation) (f)

2.1.3.4 

ゲッタイオン
ポンプ

気体分子がイオン化され,電界又は磁界
を伴う電界によってゲッタ材料面に輸
送されて排気される気体ため込み式真

空ポンプ。

(英)getter ion pump 
(独)Ionengetterpumpe (f) 
(仏)pompe ionique à sorbeur (f)

2.1.3.4.1 

蒸発イオンポ
ンプ

連続又は不連続な昇華・蒸発によってゲ
ッタ面を形成し,イオン化した気体をゲ

ッタへ輸送するゲッタイオンポンプ。

(英)sublimation (evaporation) ion pump 
(独)Ionenverdampferpumpe (f)

(仏)pompe ionique à sublimation 
        (à évaporation) (f)

2.1.3.4.2 

スパッタイオ
ンポンプ

陰極スパッタリングによってゲッタ面
を更新するゲッタイオンポンプ。

(英)sputter ion pump 
(独)Ionenzerstäuberpumpe (f) 
(仏)pompe ionique à pulvérisation (f)

2.1.3.5 

クライオポン

残留気体を凝縮するのに十分な低温面
からなる気体ため込み式ポンプ。凝縮物
は,平衡蒸気圧が必要とされる圧力以下

になるような温度に保たれる。

備考  低温面は,排気される気体に

もよるが,120K 以下である。

(英)cryopump 
(独)Kryopumpe (D 
(仏)pompe cryostatiq ue (f) ;

      cryopompe (f)

2.1.3.5.1 

クライオソー
プションポン

収着を主な排気作用とするクライオポ
ンプ。

(英)cryosorption pump 
(独)Kryosorptionspumpe (f)

(仏)pompe à cryosorption (f)

2.2

真空ポンプの部品

番号

用語

定義

対応する外国語

2.2.0.1 

ポンプケース

真空状態の気体を大気から仕切るポン
プの外壁。

(英)pump case 
(独)Vakuumpumpenkörper (m) ;

Vakuumpengehäuse (n)

(仏)corps de pompe (m)


5

Z 8126-2 : 1999

番号

用語

定義

対応する外国語

2.2.0.2 

吸気口

排気される気体が入るポンプの入口。

(英)inlet 
(独)Einlaßöfnung (f) ;   
      Ansaugöffnung (f)

(仏)admission (f)

2.2.0.3 

排気口

ポンプの気体吐き出し口。

(英)outlet

(独)Auslaußöffnung (f) ;   
      Auspuff (m) 
(仏)refoulement (m)

2.2.1.1 

翼板

容積移送式真空ポンプで,ステータとロ
ータとの間の作動空間を仕切るしゅう
動板。

(英)vane ; blade 
(独)Schieber (m) 
(仏)palette (f)

2.2.1.2 

放出弁

容積移送式真空ポンプで,圧縮された気
体を自動的に放出する弁。

(英)discharge valve 
(独)Auspuffventil (n)

(仏)soupape de refoulement (f)

2.2.1.3 

膨張室

容積移送式真空ポンプで,ステータ室の
空間を増大させて,排気される気体をそ

の中で膨張するようになっている空間。

(英)expansion chamber 
(独)Schöpfraum (m)

(仏)chambre de détente (f)

2.2.1.4 

圧縮室

容積移送式真空ポンプで,ステータ室の

空間を減少させて,排気される気体をそ
の中で圧縮するようになっている空間。

(英)compression chamber

(独)Verdichtungsraum (m) ;   
      Kompressionsraum (m) 
(仏)chambre de compression (f)

2.2.1.5 

真空ポンプ油

真空ポンプの気密,冷却,潤滑に用いる
油。

備考  ポンプ油という用語は,一般

に油拡散ポンプの作動油にも
使用される。ただし,この

考は独語には適用しない。

(英)vacuum pump oil 
(独)Vakuumpumpenöl fur ölgedichtete

Vakuumpumpen

(仏)huile de pompe à vide primaire (f)

2.2.2.1 

ポンプ作動液

エジェクタポンプ又は拡散ポンプの作
動液。

(英)pump fluid 
(独)Treibmittel (n)

(仏)fluide moteur (m)

2.2.2.2 

ノズル

エジェクタポンプ又は拡散ポンプの部
品で,排気作用を作り出すためにポンプ

作動液の流れをそろえる。

(英)nozzle 
(独)Treibduse (f)

(仏)tuyère (f)

2.2.2.2.1 

ノズルののど

ノズルの最小断面積部分。

(英)nozzle throat

(独)kleinster Treibdüsenquerschnitt (m) 
(仏)col de la tuyère (m)

2.2.2.2.2 

ノズルのすき
ま面積

ノズルの外縁とポンプケーシング内壁

との間の最小すきま面積。

(英)nozzle clearance area

(独)Ringspalt (m) 
(仏)aire d’admission (f)

2.2.2.2.3 

ノズルのすき

ノズルのすきま面積を決定する同心円
の間隔。

(英)nozzle clearance 
(独)Ringspaltbreite (f) 
(仏)largeur d’admission (f)

2.2.2.3 

噴流

エジェクタ又は拡散ポンプで,ノズルか
ら噴出するポンプ作動流体の流れ。

(英)jet 
(独)Treibmittelstrahl (m) 
(仏)jet (m)

2.2.2.4 

ディフューザ

エジェクタポンプのノズルの前面に配
置された円すい状の収れん部分及びそ

れに連なるのど部と発散部(ベンチュ
リ)の総称。

(英)diffuser 
(独)Diffusor (m)

(仏)convergent (m)


6

Z 8126-2 : 1999

番号

用語

定義

対応する外国語

2.2.2.4.1 

ディフューザ
ののど

ディフューザの最小断面積の部分。

(英)diffuser throat 
(独)kleinster Diffusor querschnitt (m) 
(仏)col du convergent (m)

2.2.2.5 

蒸気導管,チム

蒸気噴射真空ポンプにおいて,蒸気をボ
イラからノズルに通す導管。

(英)vapour tube ; vapour pipe ;   
      vapour chimney

(独)Dampfsteigrohr (n) 
(仏)cheminée (f)

2.2.2.6 

ノズルアッセ
ンブリ

蒸気噴射真空ポンプで,ノズルと蒸気配

管から成り立っている集合体(通常は取
外し可能)

(英)nozzle assembly

(独)Dünsensystem (n) ;   
      Düsenstock (m) 
(仏)ensemble éjecteur ou ensemble diffuseur (m)

2.2.2.7 

スカート

ノズルアッセンブリの一番下の部分で,
通常広げられていて,戻ってきて,次に

凝縮されたポンプ作動油とボイラで発
生した蒸気とを分離している。

(英)skirt 
(独)  −

(仏)jupe (f)

2.3

真空ポンプの附属品

番号

用語

定義

対応する外国語

2.3.1 

トラップ

その中で混合気及び蒸気の成分分圧を,
物理的又は化学的方法によって減少さ

せる装置。

(英)trap 
(独)Falle (f)

(仏)piège (m)

2.3.1.1 

冷却トラップ

冷却面における凝縮作用を利用するト

ラップ。

(英)cold trap

(独)Kühlfalle (f) 
(仏)piège refroidi (m)

2.3.1.2 

収着トラップ

収着作用を利用するトラップ。

(英)sorption trap 
(独)Sorptionsfalle (f) 
(仏)piège à sorption (m)

2.3.1.3 

イオントラッ

気相から望ましくないある成分を取り
除くために,気体のイオン化を行うトラ
ップ。

(英)ion trap 
(独)Ionisierungsfalle (f) 
(仏)piège ionique (m)

2.3.2 

バッフル

蒸気噴射真空ポンプの吸気口の近くに
あり,可能であれば冷却されて,作動液

の逆流,流出を減少させるじゃま板。

(英)baffle 
(独)Dampfsperre (f) ; Baffle (n)

(仏)baffle

2.3.3 

油分離器

真空ポンプの排気口において,気体に同
伴されてもち去られるポンプ油の損失

を減少させる装置。

(英)oil separator 
(独)Ölabscheider (m)

(仏)séparateur d’huile (m)

2.3.4 

油純化器

ポンプ油から汚染物質を除去するため

の装置。

(英)oil purifier

(独)Ölreiniger (m) 
(仏)épurateur d’huile (m)

2.4

ポンプの動作に関する用語

番号

用語

定義

対応する外国語

2.4.1 

主ポンプ

真空系を作動圧力まで排気し,その圧力
を保つための真空ポンプ。

(英)main pump 
(独)Hauptpumpe (f)

(仏)pompe à vide principale (f)

2.4.2 

粗引き真空ポ
ンプ

大気圧から主ポンプ又は他の排気シス

テムが作動できる圧力まで真空容器又
はシステムを減圧する真空ポンプ。

(英)roughing vacuum pump

(独)Vorvakuumpumpe (f) 
(仏)pompe préliminaire pour le vide (f) ;   
      pompe de prévidage (f)


7

Z 8126-2 : 1999

番号

用語

定義

対応する外国語

2.4.3 

補助ポンプ

他のポンプの背圧を臨界値以下に維持
するための真空ポンプ。補助ポンプは粗
引きポンプとしても使用される。

(英)backing vacuum pump 
(独)Vorvakuumpumpe (f) 
(仏)pompe primaire pour le vide (f)

2.4.4 

背圧維持ポン

気体の流量が少なく,正規の補助ポンプ
が使用できないような場合に,これに代

わってあるポンプの背圧を維持するた
めに用いられる補助ポンプ。

(英)holding vacuum pump 
(独)Haltevorvakuumpumpe (f)

(仏)pompe à vide de maintien (f) ;   
      pompe primaire d’entretien (f)

2.4.5 

高真空ポンプ

一つの排気系で 2 個以上の真空ポンプが

直列に使用されているときに,最も低い
圧力で作動するポンプ。

(英)high vacuum pump

(独)Endvakuumpumpe (f) 
(仏)pompe à vide secondaire (f)

2.4.6 

低真空ポンプ

真空容器を大気圧から減圧するための
真空ポンプ。

(英)rough vacuum pump ;   
      low vacuum pump 
(独)Grobvakuumpumpe (f)

(仏)pompe à vide primaire (f)

2.4.7 

ブースタポン

中間圧力領域での排気量を増加させる
か,又は排気系の各段での圧力を改善し

て補助ポンプに対する体積流量を減少
させるために,通常は補助ポンプと高真
空ポンプとの間で用いる真空ポンプ。

(英)booster vacuum pump 
(独)Boostervakuumpumpe (f) ;

      Zwiscbenvakuumpumpe (f) 
(仏)pompe à vide intermédiaire (f)

2.4.8 

高真空維持ポ
ンプ

既に排気された真空容器内の低圧を維
持するために用いる小形の補助的ポン

プ。

(英)appendage vacuum pump 
(独)Haltevakuumpumpe (f) ;

      Appendixpumpe (f) 
(仏)pompe à vide d’appoint (f)

2.5

真空ポンプの性能に関する用語

番号

用語

定義

対応する外国語

2.5.1.1 

真空ポンプの
排気速度

ポンプの吸気口を通る気体の体積流量。
(量記号:S,  単位記号:m

3

・s

-1

(英)volume flow rate of a vacuum pump 
(独)Saugvermögen (n)

(仏)débit-volume d’une pompe à vide (m)

2.5.1.2 

ポンプの排気

ポンプの吸気口を通る気体の体積流量

(量記号:Q,  単位記号:Pa・m

3

・s

-1

(英)throughput of a vacuum pump

(独)Saugleistung (f) 
(仏)puissance d’aspiration d’une pompe à vide

(f)

2.5.2 

始動圧力

真空ポンプが損傷することなく始動で
き,かつ,正常な排気作用が得られる圧

力。

(英)starting pressure 
(独)Startdruck (m) ;

      Einschaltdruck (m) 
(仏)pression d’amorgage (f)

2.5.3.0 

背圧

気体を大気圧以下の圧力空間に排気す

る場合の,真空ポンプの排気口での圧
力。

(英)backing pressure

(独)Vorvakuumdruck (m) 
(仏)pression au refoulement (f)

2.5.3.1 

臨界背圧

蒸気噴射真空ポンプが正常な機能を維
持できる最大の背圧。

(英)critical backing pressure 
(独)maximal zulässiger Vorvakuumdruck (m) ; 
      Vorvakuumbeständigkeit (f)

(仏)pression critique de refoulement (f)

2.5.3.2 

最大背圧

それ以上ではポンプが損傷する背圧。

(英)maximum backing pressure 
(独)  −

(仏)pression maximale de refoulement (f)

2.5.4 

吸入圧

ポンプの吸気口における圧力。

(英)inlet pressure

(独)Ansaugdruck (m)


8

Z 8126-2 : 1999

番号

用語

定義

対応する外国語

2.5.4.1 

最大吸入圧

ポンプが破壊及び損傷なしに連続運転
ができる最大流量での吸気口圧力。

(英)maximum working pressure 
(独)  − 
(仏)pression maximale de fonctionnement (f)

2.5.5 

ポンプの到達
圧力

ポンプを正常に働かせ,気体を導入せず
にテストドームでの圧力が漸近的に近

づく値。非凝縮性の気体だけの到達圧力
と凝縮性気体を含んだ場合の全到達圧
力とは明確に区別するようにする。

(英)ultimate pressure of a pump 
(独)Enddruck einer Vakuumpumpe (m)

(仏)pression limite d’une pompe (f)

2.5.6 

圧縮比

ある気体に対する吸気口圧力と排気口
圧力との比。

(英)compression ratio 
(独)Kompressionsverhältnis (n) 
(仏)taux de compression (m)

2.5.7.1 

逆拡散

真空ポンプ(又は附属するバッフル及び
トラップ)の排気口から吸気口へ,ポン

プ動作方向とは逆に気体が流れる現象。

(英)back-diffusion of gas 
(独)Gasrükdiffusion (f)

(仏)rétrodiffusion de gaz (f)

2.5.7.2 

逆流

流体作動式ポンプ(又は附属するバッフ
ル及びトラップ)の吸気口を通って,あ

るべき気体の流れと反対方向に,ポンプ
作動液が流れる現象。

(英)back-streaming of pump fluid 
(独)Treibmittelrükströmung (f)

(仏)reflux du fluide moteur (m)

2.5.7.3 

逆移動

真空ポンプの作動液分子又はポンプ油
分子が,容器の壁面上における再蒸発及
び表面拡散によって,高真空側へ移動す

る現象。

(英)back-migration 
(独)a) Rückkriechen von Treibmitteln (n)   
      b) Rückkriechen von Vakuumpumpenö1 (n)

(仏)migration en retour (f)

2.5.8.1 

許容水蒸気排
気量

ガスバラストポンプにおいて,排気され
る気体が純粋な水蒸気として,標準環境

状態で連続排気が可能な水蒸気の質量
流量。

(英)water vapour tolerable load 
(独)maximal zulässiger Massendurchfluß fur

Was-serdampf (m)

(仏)charge tolérable de vapeur d’eau (f)

2.5.8.2 

最大許容吸気
口水蒸気圧

標準環境状態で,ガスバラストポンプが
純粋な水蒸気を連続排気可能な最大吸
気口水蒸気圧力。

(英)maximum tolerable water vapour inlet

pressure

(独)Wasserdampfverträglichkeit (f)

(仏)pression maximale tolérable d’aspiration de

vapeur d’eau (f)

2.5.9.1 

蒸気ジェット
真空ポンプ又
は拡散ポンプ
の起動時間

ボイラの中の作動液がその動作温度に

なるのに必要な時間。初めの温度は,外
気温度か,又はポンプを安全に大気圧に
戻せる温度とする。

(英)warm-up time for a vapour jet pump or a

diffusion pump

(独)Anheizzeit einer ampfstrahlvakuumpumpe

oder einer Diffusionspumpe (f)

(仏)temps de chauffage d’un éjecteur à vapeur ou

d’une pompe à diffusion (m)

2.5.9.2 

蒸気ジェット
真空ポンプ又
は拡散ポンプ
の停止時間

ボイラの中の作動液が熱源を停止した
後,その動作温度からポンプを大気圧に
安全に戻すために必要な温度に低下す

るまでの時間。

(英)cool-down time for a vapour jet pump or a

diffusion pump

(独)Abkühlzeit einer Dampfstrahlvakuumpumpe

oder einer Diffusionspumpe (f)

(仏)temps de refroidissement d’un éjecteur à

vapeur ou d’une pompe à diffusion (m)


9

Z 812

6-2 :

 199
9

附属書(参考)  真空ポンプの分類

備考1.  この表はポンプの分類の理解を容易にするために,ISO 3529-2の付表 Annex A に基づいて作成したものである。

2.

項目番号に  (  )  を付けたものは用語とした独立した項目になっていないか,該当番号の項目中に引用されているか,又はこの分類表のために番号を設けたもの
である。


10

Z 8126-2 : 1999

JIS Z 8126-2

国際整合化推進委員会  構成表

氏名

所属

(委員長)

平  田  正  紘

工業技術院電子技術総合研究所

大  嶋  清  治

工業技術院標準部

和  田  隆  光

財団法人日本規格協会

赤  石  憲  也

核融合科学研究所

門      芳  生

株式会社芝浦製作所

金  戸      成

株式会社大阪真空機器製作所

木  村  和  幸

大亜真空株式会社

榊  原  正  二

日本酸素株式会社

(長  岡  隆  司)

株式会社日立製作所

中  村  静  雄

日本真空技術株式会社

成  田      潔

株式会社島津製作所

橋  爪  寛  行

橋爪技術士事務所

福  山  泰  弘

神港精機株式会社

堀  越  源  一

高エネルギー物理学研究所(名誉教授)

森  本  勝  直

アネルバ株式会社

柳  橋  輝  雄

大亜真空株式会社

(事務局)

(石  川  三  郎)

日本真空協会

小  林  廣  子

日本真空協会

備考  ○印は分科会委員も兼ねる。