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日本工業規格

JIS

 H

0613

-1978

シリコンスライスウェーハ及び

ラップウェーハの外観検査

Visual Inspection for Sliced and Lapped Silicon Wafers

1.

適用範囲  この規格は,シリコンのスライス又はラップしたウェーハ(以下,ウェーハという。)の外

観検査について規定する。

引用規格: 

JIS C 7612

  照度測定方法

JIS H 0609

  シリコンのエッチピット及びリネージ測定方法

2.

用語の意味  この規格で用いる外観上の欠損についての用語の意味は,表 のとおりとする。

表 1

用語

意味

対応英語(参考)

スクラッチ

表面に生じた線状の傷。

付図 参照) scratch

かけ

外周部に生じた不規則な欠損で,一方の面から他方
の面に達するもの。

付図 参照)

flake type

chip

エッジチップ

外周部に生じた不規則な欠損で,ウェーハの一方の
面にとどまるもの。

付図 参照)

edge chip

クラック

外周部から生じたひび割れ。

付図 参照) crack

クロートラック

結晶方向性をもった定形的なひび割れ。

付図 参照) crow track

crows-foot

ピンホール

表面に生じた孔状の欠損。

付図 参照) pin

hole

汚れ

表面に付着した汚れ。 dirt

ソーマーク

スライス時に表面に生じた弧状,段状又はしま状の
刃跡を示す模様。

付図 参照)

saw-mark

3.

検査項目及び判定基準

3.1

ウェーハの外観検査

表 に示す検査項目について,4.により行う。

3.2

ウェーハは,片面ごとに 3.1 の試験の結果

表 に示す判定基準に適合しなければならない。

表 2

検査項目

判定基準

スクラッチ

長さ 1mm 未満又は JIS H 0609(シリコンのエッチピット及びリネージ
測定方法)に規定するエッチング液 (a) で片面 10

µm までエッチングし

て消滅すること。

かけ

中心方向の長さ 0.5mm 以下で,次表の個数を超えないこと。


2

H 0613-1978

検査項目

判定基準

備考  中心方向の長さ 0.3mm 未満は個数にかぞえない。

エッジチップ

円周上の長さ 1.0mm 以下及び中心方向の長さ 0.8mm 以下で,次表の個

数を超えないこと。

備考  円周上の長さ 0.5mm 未満又は中心方向の長さ 0.3mm 未満は,

個数にかぞえない。

クラック

長さ 0.3mm 未満

クロートラック

検出されないこと。

ピンホール

直径 0.2mm 未満で,かつ一方の面から他方の面に達しないこと。

汚れ

検出されないこと。

ソーマーク*

検出されないこと。

*

スライスしたウェーハには適用しない。 

4.

試験方法

4.1

試験環境  試験環境は,JIS C 7612(照度測定方法)による周囲照度 1000lx 以下の清浄なふん囲気

下とする。

4.2

外観試験  外観試験は,白熱燈又はけい光燈を光源とし,ウェーハの表面の照度を 1000∼3000lx と

して,ウェーハを回転しながら目視で行う。

なお,目視で検出しにくいクラック及びクロートラックについては,JIS H 0609 に規定するエッチング

液 (a) で,片面を 5∼15

µm エッチング処理したのち目視で行う。

4.3

寸法試験  寸法試験は,測定器付拡大鏡を用いて行う。

付図 1  スクラッチ

付図 2  かけ


3

H 0613-1978

付図 3  エッジチップ

付図 4  クラック

付図 5  クロートラック

付図 6  ピンホール


4

H 0613-1978

付図 7  ソーマーク 

電気材料部会  シリコン試験方法専門委員会  構成表

氏名

所属

(委員会長)

垂  井  康  夫

超エルエスアイ技術研究組合(工業技術院電子技術総合研究所)

高  良  和  武

東京大学工学部

横  山      豊

工業技術院計量研究所

杉  原  干  隈

工業技術院標準部

丸  山      茂

信越半導体株式会社技術部

水  間  基一郎

日本電子金属株式会社製造部

福  田  武  彦

小松電子金属株式会社

関      茂  雄

東洋シリコン株式会社野田工場製造部

田  内  省  二

株式会社日立製作所武蔵工場

塚  本  哲  男

ソニー株式会社厚木工場

長  船  広  衛

日本電気株式会社半導体事業部

鯰      了  介

富士通株式会社第一半導体技術部

佐  藤  清  俊

社団法人日本電子工業振興協会

(関係者)

池  田  正  幸

工業技術院電子技術総合研究所

(事務局)

武  笠  二  郎

工業技術院標準部電気規格課

神  長  直  之

工業技術院標準部電気規格課