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B 9946

:2011

(1)

目  次

ページ

序文  

1

1

  適用範囲 

1

2

  引用規格 

1

3

  用語及び定義  

1

4

  構成  

3

5

  仕様項目及び要求事項  

4

6

  耐オゾン性材料  

7

7

  処理装置及び装置周辺でのオゾン濃度管理  

7

8

  オゾン濃度測定方法  

8

9

  定期保守・点検  

15

附属書 A(規定)発生オゾン濃度特性曲線  

16

附属書 B(参考)オゾン漏れ箇所の確認方法  

17


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まえがき

この規格は,工業標準化法第 12 条第 1 項の規定に基づき,特定非営利活動法人日本オゾン協会

(JOA)から,工業標準原案を具して日本工業規格を制定すべきとの申出があり,日本工業標準調査会の

審議を経て,経済産業大臣が制定した日本工業規格である。

この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。

この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願又は実用新案権に抵触する可能性があることに注意

を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許権,出願公開後の特許出願及び実

用新案権に関わる確認について,責任はもたない。


日本工業規格

            JIS

 B

9946

:2011

排水・用水用オゾン処理装置−

仕様項目及びオゾン濃度測定方法

Ozone treatment apparatus for waste and water in industry and

other oxidation uses-Specifications of apparatus and measurement

methods for ozone concentration

序文 

水環境対応の課題に対応する高度水処理が求められており,それに対応する装置として普及が期待され

ているオゾン処理装置について,必要な標準化を進めるためにこの規格を制定する。

なお,対応国際規格は,現時点で制定されていない。

この規格の利用者は,人為的に製造するオゾン及びその関連装置について,強制法規の適用を含めその

取扱いに精通していなければならない。また,オゾンの測定時には作業者の健康に留意する。

適用範囲 

この規格は,工業排水,工業用水,下水,上水などの分野でオゾンによって処理を行う装置(以下,処

理装置という。

)に求められる一般的な仕様項目及びオゾン濃度測定方法について規定する。

この規格で規定する処理装置は,最大オゾン発生量が 0.5 kg/h 以上のものとする。

注記  処理装置は,オゾンの発生,反応及び分解する工程をもつ装置で,オゾン濃度管理点(以下,

管理点という。)でオゾン濃度を適切に測定し,有機物及び微量有害物質の分解,消毒,脱

色・脱臭などの処理を行う。

引用規格 

次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。これらの

引用規格は,その最新版(追補を含む。

)を適用する。

JIS B 7957

  大気中のオゾン及びオキシダントの自動計測器

JIS K 0804

  検知管式ガス測定器(測長形)

用語及び定義 

この規格で用いる主な用語及び定義は,次による。

3.1 

オゾン(ozone)

酸素原子 3 個からなる分子。


2

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3.2 

オゾン発生量(generated ozone amount)

オゾン発生器で単位時間当たりに製造されるオゾンの量 。

3.3 

オゾン濃度(ozone concentration)

単位体積又は単位質量当たりのオゾンの体積,質量又はモル数。

3.4 

化学分析(chemical analysis)

吸収瓶又は捕集容器に捕集された試料の分析方法のうち,滴定法,吸光光度法など連続分析以外の分析

方法。

3.5 

濃度計(ozone monitor)

試料のオゾン濃度を連続的に測定する機器。

3.6 

検知器(ozone detector)

簡易的にオゾン濃度を測定する機器及び器具。

3.7 

発生オゾン濃度(generated ozone concentration)

オゾン発生器出口のオゾン濃度。

3.8 

オゾン注入率(ozone dosage)

単位処理水量(m

3

)に注入するオゾンの量(g)

。濃度の単位(g/m

3

又は mg/L)をもつ。

3.9 

排オゾン濃度(waste ozone concentration)

オゾン反応部出口のオゾン濃度。

3.10 

排気オゾン濃度(exhaust  ozone concentration)

排オゾン処理部出口のオゾン濃度。

3.11 

オゾン必要量(required ozone amount)

処理に必要なオゾンの量。

3.12 

溶存オゾン濃度(dissolved ozone concentration)

水中に溶解したオゾン濃度。

3.13 

環境オゾン濃度(ambient ozone concentration)

処理装置周辺の環境雰囲気のオゾン濃度。

3.14 

発生オゾン濃度特性曲線(characteristic curve between ozone generator-input power and generated ozone  con-

centration)


3

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オゾン発生器への投入電力とそのときに得られる発生オゾン濃度との関係を示した特性曲線。

3.15 

質量法(gravimetric method)

採取した液体の重さを測定することで体積に換算し,定量する方法。

3.16 

容量法(volumetric method)

ピペットなどで,液体体積を一定量採取し,定量する方法。

構成 

処理装置は,原料ガス供給部,オゾン発生部,オゾン反応部及び排オゾン処理部から構成する(

図 

二重線枠内参照)

。また,管理点を M1∼M4(処理装置内)

,M5(処理装置周辺)で示す。

図 1−処理装置の基本構成図 

a)

原料ガス供給部  オゾン発生部に原料ガスを供給する装置であり,原料ガスを空気とする場合は,

空気供給装置を用いる。原料ガスを酸素とする場合は,空気から酸素を濃縮する装置又は液体酸素を

気化して供給する装置を用いる。

1)

空気供給装置  送気装置(ブロワ又はコンプレッサ),空気冷却装置,空気乾燥装置などで構成す

る装置。

−  送気装置は,空気冷却装置に原料ガスとなる空気を圧送する装置。

−  空気冷却装置は,送気装置で圧縮した空気の冷却を行う装置であり,水冷式又は冷凍式がある。

両方式を併用する場合がある。

−  空気乾燥装置は,冷却した空気を除湿する装置。除湿には,アルミナゲル,ゼオライトなどを用

いて水分を吸着除去する。複数の吸着装置をもち,吸着と再生とを交互に行い連続的に乾燥空気

を得る。露点温度は,−50 ℃以下とすることが望ましい。

電源装置

オゾン発生器

冷却装置

反応装置(液相)

原料ガス供給部

オゾン発生部

オゾン反応部

排オゾン処理部

酸素供給装置(液体酸素から

溶解装置

液体酸素貯蔵塔  気化装置

送気装置

空気冷 
却装置

空気乾 
燥装置

排オゾン
分解装置

排オゾン
吸引装置

管理点

M5

M4

M3

M2

M1

空気供給装置

酸素富化装置

送気装置

酸素供給装置(空気原料から)


4

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2)

酸素供給装置(空気原料から酸素を供給する場合)  送気装置,酸素富化装置などで構成する装

置。

−  送気装置は,酸素富化装置に原料となる空気を圧送する装置。

−  酸素富化装置は,空気中の酸素を富化,濃縮する装置。窒素,二酸化炭素などを吸着剤で吸着し

90 %以上の酸素を得る。

3)

酸素供給装置(液体酸素から酸素を供給する場合)  液体酸素貯蔵塔,気化装置などで構成する

装置。

−  液体酸素貯蔵塔は,液体の酸素を貯蔵する装置。

−  気化装置は,液体酸素貯蔵塔から供給された液体酸素を気化させる装置。

b)

オゾン発生部  オゾン発生器,電源装置,冷却装置などで構成する。オゾン発生方式は,一般的に

放電方式が用いられている。

1)

オゾン発生器  酸素を含んだ原料ガス中で,主に放電によって酸素からオゾンを人為的に発生させ

る装置。

2)

電源装置  オゾン発生器にオゾン発生に適した電圧と周波数で電力を供給する装置で,その多くは

インバータ,昇圧トランスなどの組み合わせで構成する。

3)

冷却装置  オゾン発生器を冷却する装置で,空冷式と水冷式とがある。

c)

オゾン反応部  反応装置,溶解装置などで構成する。

1)

反応装置  オゾンを水に溶解し被処理物質と反応を行う装置。

2)

溶解装置  オゾンを水に溶解する装置。溶解方式には散気,下降流注入,インジェクター及び機械

かくはん(攪拌)がある。

d)

排オゾン処理部  排オゾン分解装置,排オゾン吸引装置などで構成する。ただし,反応装置のガス

の気密が保たれる場合には,排オゾン吸引装置は不要である。

1)

排オゾン分解装置  反応装置から放出されたオゾンを酸素に分解する装置。分解方式には,活性

炭,触媒,熱分解などがある。

2)

排オゾン吸引装置  反応装置から排オゾンを吸引し,排オゾン分解装置に送るために用いる装

置。主にファンが用いられる。

e)

管理点  一般的に,図 の M1∼M5 に示す箇所でオゾン濃度を測定する。気相のオゾン濃度を測定

する管理点(M1,M3∼M5)と液相のオゾン濃度を測定する管理点(M2)とがある。これらの測定

値を基にして,処理装置の性能確認,運転制御,保守管理などを行う。

管理点に適用する測定方法として,次に示すものがある。

−  オゾン濃度定量のための化学分析

−  オゾン濃度定量のための濃度計

−  簡易測定のための検知器

仕様項目及び要求事項 

5.1 

原料ガス供給部 

次に規定する仕様項目について,適切な仕様内容を決める。

a) 

原料ガス性状(ガス種,露点温度及び酸素濃度)

b) 

原料ガス流量

c)

使用温度,使用湿度,その他使用雰囲気に関わる事項


5

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5.2 

オゾン発生部 

5.2.1 

オゾン発生器 

5.2.1.1 

仕様項目 

次に規定する仕様項目について,適切な仕様内容を決める。

a)

オゾン発生量及び発生オゾン濃度

b)

冷却方式,温度及び水質(水冷の場合)

c)

使用温度,使用湿度,その他使用雰囲気に関わる事項

d)

最大使用圧力

5.2.1.2 

要求事項 

オゾン発生器の要求事項は,

表 による。

表 1−オゾン発生器の要求事項 

項目

要求事項

絶縁抵抗(充電部−接地間)

直流電圧 1 000 V を印加して 5 MΩ 以上である。

耐圧力

最大使用圧力の水圧にあっては 1.5 倍,気圧にあっては 1.25 倍の圧

力を加圧して漏れがあってはならない。ただし,発生器吐出端が大
気に開放又はそれに準じる構造の場合は,耐圧力は適用しない。

禁油処理

オゾン又は 25 %以上の酸素に接する部分には,禁油処理を施す。

5.2.2 

電源装置 

5.2.2.1 

仕様項目 

次に規定する仕様項目について,適切に仕様内容を決める。

a)

入力電流,入力電圧及び入力周波数

b)

出力電流,出力電圧及び出力周波数

c)

電源容量

d)

使用温度,使用湿度,その他使用雰囲気に関わる事項

5.2.2.2 

要求事項 

電源装置の要求事項は,

表 による。

表 2−電源装置の要求事項 

項目

内容

絶縁抵抗

直流電圧 1 000 V を印加して 5 MΩ 以上である。

絶縁耐力

電圧をゼロから一定割合(電圧計で読み取れる速さ)で次の規定試験
電圧まで上昇させた後,1 分間保持しても異常のないものとする。

−  定格電圧 2.2 kV 超え 3.6 kV 以下の場合は 10 kV

−  定格電圧 3.6 kV 超え 7.2 kV 以下の場合は 16 kV

高電圧・高周波

感電防止対策及び高周波対策を施さなければならない。

注記  絶縁耐力試験の試験電源は,周波数 50 Hz 又は 60 Hz のほぼ正弦波形の交流で,その容量は

500 VA 以上の性能をもち,試験電圧をゼロから規定値まで一様に上昇できる機能を備えたも

のとする。


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5.2.3 

冷却装置 

次に規定する仕様項目について,適切な仕様内容を決める。

a)

冷却能力

b)

冷媒

c)

使用温度,使用湿度,その他使用雰囲気に関わる事項

5.3 

オゾン反応部 

5.3.1 

反応装置 

5.3.1.1 

仕様項目 

次に規定する仕様項目について,適切な仕様内容を決める。

a)

オゾン注入率

b)

処理水量

c)

容量

d)

水深

e)

使用温度,使用湿度,その他使用雰囲気に関わる事項

5.3.1.2 

要求事項 

反応装置の要求事項は,次による。

a)

反応装置で水処理をする間,反応装置は密閉されていなければならない。ただし,密閉できないコン

クリートで構成された反応装置の場合,水面上の気相部は,排オゾン吸引装置によって負圧に維持す

る。

b)

反応装置からオゾン発生器への処理水の逆流を防止する手段が講じられていなければならない。

5.3.2 

溶解装置 

次に規定する仕様項目について,適切な仕様内容を決める。

a)

溶解方式

b)

ガス流量

c)

使用温度及び使用圧力

5.4 

排オゾン処理部 

5.4.1 

排オゾン分解装置 

5.4.1.1 

仕様項目 

次に規定する仕様項目について,適切な仕様内容を決める。

a)

分解方式

b)

分解剤の種類及び充塡量(分解剤を使用する場合)

c)

適応できる排オゾン濃度の範囲,排ガス温度及び排ガス流量

d)

使用温度,使用湿度,その他使用雰囲気に関わる事項

5.4.1.2 

要求事項 

排オゾン分解能力は,排気オゾン濃度を 0.4 ppm 未満とする性能をもたなければならない。

5.4.2 

排オゾン吸引装置 

次に規定する仕様項目について,適切な仕様内容を決める。

a)

排オゾン吸引ファン能力(吸引流量,吸引圧力など)

b)

適応できる排オゾン濃度の範囲及び排ガス温度

c)

使用温度,使用湿度,その他使用雰囲気に関わる事項


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耐オゾン性材料 

オゾン及びオゾン水と接触する各部の装置,配管,弁,センサ,継手,シール,パッキンなどには,耐

オゾン性材料を使用しなければならない。この部分での耐オゾン性材料の使用例を,

表 に示す。

耐オゾン性材料は,オゾンの使用状況(乾燥か湿潤かの別,高濃度か低濃度かの別など)に応じて使い

分ける。また,定期交換によって機能及び性能が確保できる材料を使用する。

注記  耐オゾン性を高めるために,耐オゾン性材料の表面に,更に PFA,PTFE,PVC  などのライニ

ング加工を施す場合がある。

表 3−耐オゾン性材料の例 

基本構成部の別

装置名

耐オゾン性材料(例)

オゾン発生部

オゾン発生器 SUS304,SUS316L,ガラス,セラミック,

アルミニウム(耐食性処理)

,EPDM,CPM

冷却装置 SUS304,チタン,FRP,黄銅

オゾン反応部

反応装置

コンクリート,モルタル,SUS304,SUS316L,FRP

 a)

溶解装置

セラミック,SUS304,SUS316L

排オゾン処理部

排オゾン分解装置 SUS304,PTFE,FRP

a)

排オゾン吸引装置 SUS304,PVC,FRP

a)

a)

 100

ppm 未満のオゾン濃度に限定して使用することができる。

処理装置及び装置周辺でのオゾン濃度管理 

7.1 

管理のためのオゾン濃度測定 

処理装置は,オゾン反応部で求められるオゾン必要量に応じてオゾン発生量及び/又はオゾン濃度を管

理しなければならない。管理は,管理点でのオゾン濃度測定によって実施する。各管理点でのオゾン濃度

測定の内容を,

表 に示す。

表 4−管理点におけるオゾン濃度測定 

管理点 M1 M2 M3 M4 M5

測定対象の名称

発生オゾン濃度

溶存オゾン濃度

排オゾン濃度

排気オゾン濃度

環境オゾン濃度

測定対象構成部

オゾン発生部

オゾン反応部

排オゾン処理部

排オゾン処理部

処理装置周辺

オゾンの存在状態

気相

液相

気相

気相

気相

説明

オゾン発生器か
らオゾン反応装

置に供給される
オゾン濃度を測
定する。

反応装置内の水
中に溶解したオ

ゾン濃度を測定
する。

反応装置から排
出 さ れ た 未 溶

解・未消費のオ
ゾン濃度を測定
する。

排オゾン分解装
置で処理した後

のオゾン濃度を
測定する。

装置周辺の雰囲
気及び装置漏え

い(洩)のオゾ
ン濃度を測定す
る。

7.2 

管理点でのオゾン濃度測定方法 

7.2.1 

設置・切替時 

処理装置の設置時,移設時,更新時,オーバーホール時などの設置・切替時には,オゾン発生部及び排

オゾン処理部にて所定の性能が確保されていること,及び処理装置周辺において漏えいなどによる環境へ

の影響がないことを,オゾン濃度によって確認しなければならない。設置・切替時のオゾン濃度測定の内

容を,

表 に示す。


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表 5−設置・切替時の各部でのオゾン濃度測定方法 

管理点

M1 M2 M3 M4 M5

オ ゾ ン 濃 度 測 定

方法

化 学 分 析 又 は 濃

度計

当 事 者 間 で 測 定

の 有 無 及 び 測 定
方 法 を 決 定 す
る。

化 学 分 析 又 は 濃

度計

化 学 分 析 又 は 濃

度計

当 事 者 間 で 測 定

の 有 無 及 び 測 定
方 法 を 決 定 す
る。

注記 M3 及び M4 では,濃度の目安を得る目的で検知器を用いる場合がある。しかし,性能が確保されていること

の確認には,検知器は利用できない。

7.2.2 

運用時 

処理装置の通常運転時,維持管理時などの運用時には,処理装置内でのオゾンの発生状況又は濃度を確

認することによって処理装置の運転を制御する。制御の方法には,オゾン注入率制御,溶存オゾン濃度制

御又は排オゾン濃度制御があり,それぞれ管理点の M1∼M3 でオゾン濃度を測定する。運用時のオゾン

濃度測定方法を,

表 に示す。

運用時は,M1∼M3 のうち少なくとも 1 か所以上でオゾン濃度を測定して処理装置の制御をすることと

し,その測定箇所及び制御方法は受渡当事者間で決定する。ただし,オゾン発生器の最大オゾン発生量が

2 kg/h 未満の場合には,附属書 に規定する発生オゾン濃度特性曲線を用いて確認する方法でもよい。

表 6−運用時の各部でのオゾン濃度測定方法 

管理点 M1  M2  M3

オゾン濃度測定方法

化学分析又は濃度計

受渡当事者間で測定方法を
決定する。

受渡当事者間で測定方法を
決定する。

a)

オゾン注入率制御とは,オゾン注入率を一定に制御することをいう。設定された注入率から算出され

るオゾン発生量と比較して過不足が発生した場合,発生オゾン濃度(電力制御)又はガス流量(流量

制御)を制御して,オゾン注入率を調節する。

b)

溶存オゾン濃度制御とは,反応装置内の溶存オゾン濃度を一定に制御することをいう。設定された溶

存オゾン濃度と比較して過不足が発生した場合,電力及び/又はガス流量の制御によって,要求され

た溶存オゾン濃度を調節する。

c)

排オゾン濃度制御とは,オゾン反応部から排出された排オゾン濃度でオゾン注入率を制御することを

いう。設定された排オゾン濃度と比較して過不足が発生した場合,電力及び/又はガス流量の制御に

よって,設定した排オゾン濃度に調節する。

7.2.3 

装置周辺での環境オゾン濃度の確認 

環境オゾンの異常時には,処理装置の運転停止も含めた対策を施さなければならない。処理装置の排オ

ゾン処理能力及び処理装置からの漏えいの確認のための測定は,それぞれ,排気オゾン濃度(M4)及び

/又は環境オゾン濃度(M5)で行う。測定の有無は受渡当事者間で決定し,適切な測定方法を選択する。

なお,漏えいの箇所を特定するには,気密試験,石けん水などを用いたガス漏れ試験又は

附属書 

示した方法などが適用できる。

オゾン濃度測定方法 

8.1 

化学分析 


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8.1.1 

化学分析の種類及び原理 

化学分析の種類及び原理の概要を,

表 に示す。

表 7−化学分析の種類及び原理の概要 

化学分析の種類

原理の概要

測定対象

よう素滴定法

オゾンとよう化物イオンとの反応によって生成するよう素の量を,

チオ硫酸ナトリウム溶液を用いて滴定し,オゾン濃度を算出する。 
他の化学分析又は濃度計の校正標準として用いる。

気相・液相

紫外線吸光光度法

オゾンの紫外域における吸光度を分光光度計で測定し,オゾン濃度
を算出する。液相の測定では,液中のオゾンの吸収を測定する直接
法と,液相から気相置換したオゾンの吸光度を測定する間接法とが

ある。

気相・液相

インジゴ吸光光度法

オゾンとの反応によって脱色されたインジゴの濃度を分光光度計で

測定し,吸光度の減少からオゾン濃度を算出する。

液相

8.1.2 

試料採取の注意事項 

オゾンは,気相・液相の別にかかわらず自己分解及び反応が速く,液相においては気散するため,試料

採取に当たっては次の点に注意する。

a) 

気相及び液相に共通する試料採取の注意事項 

1)

管理点の濃度を代表する箇所から採取する。

2)

測定のため用いる器材のオゾンと接触する部位は,オゾンに対して反応性の低いガラス,ふっ素樹

脂,ステンレス鋼などの材料を用いる。

3)

試料の導入管は,可能な限り短く,かつ採取速度を大きくし,接触時間をできるだけ短くする。ま

た,配管内に付着している油脂などのオゾン反応成分を除去するなど表面の安定化を図るため,あ

らかじめ一定時間以上オゾン含有気体を通気するか,オゾン含有液を通液しておく。

4)

測定の妨害になる成分が混入している場合は,必要に応じてその影響を除去するために,適切な前

処理をする。

b) 

気相における試料採取の注意事項 

1)

採取試料の標準状態における体積を得るために,採取試料の体積に加えて採取時の温度及び圧力を

測定する。

2)

採取試料の体積は,既知容積の容器に採取する方法と,流量計を用いて連続的に採取する方法とが

あり,目的に応じて適切な方法を選択する。

2.1)

流量計は,湿式ガス流量計又はフロート式ガス流量計を用い,目的及び要求精度に応じて適切に

選択し,適正な箇所に設置する。

2.2)

湿式ガス流量計を用いる場合は,流量計に封入されている液体温度の飽和蒸気圧による体積の補

正をする。

2.3)

フロート式ガス流量計を用いる場合は,測定気体の主要成分に適合するものを使用し,要求精度

に応じてオゾンを含め成分組成に基づく補正をする。

c) 

液相における試料採取の注意事項 

1)

空気,酸素及びオゾンを含有する気泡の混入は,測定値に誤差を与えるため避ける。

 


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2)

試薬は,できるだけ速やかにオゾンと反応させる。そのため,試薬の入った容器に,試料を採取す

る質量法を用いることが望ましい。特に,排水などオゾンの分解が速い試料においては,質量法を

用いる。

3)

容量法を用いる場合は,試料採取後速やかに試薬と混合する。

4)

紫外線吸光光度法を用いる場合も,試料採取後できるだけ速やかに測定に供する。

注記  試料がアルカリ性の場合は,オゾンの分解が進みやすいため特に注意が必要である。この

場合,試料を酸性にすることによって,オゾンの自己分解を遅らせることができる。また,

試料によっては共存物質との反応によるオゾンの分解も遅らせることができる。

8.1.3 

各管理点において適用する化学分析 

適用する化学分析は,

表 による。

表 8−各管理点において適用する化学分析 

管理点

対象濃度範囲例

a) 

適用する化学分析

M1 
(気相)

空気原料:0∼ 50 g/m

3

(N)

酸素原料:0∼ 200 g/m

3

(N)

設置・切替時

よう素滴定法

運用時

よう素滴定法,紫外線吸光光度法

M2 
(液相)

0∼10 mg/L

設置・切替時

よう素滴定法,インジゴ吸光光度法 
紫外線吸光光度法

運用時

M3 
(気相)

0∼10 g/m

3

(N)

設置・切替時

よう素滴定法,紫外線吸光光度法

運用時

M4 
(気相)

0∼1 ppm

設置・切替時

JIS B 7957

附属書 の 2.(中性よう化

カリウム法による方法)

運用時

a)

  オゾンの質量濃度と体積濃度との換算は,次による(JIS B 7957 参照)。

− 0

℃,101.325 kPa(標準状態)でオゾン 2.141 g/m

3

が 1 000 ppm

− 20

℃,101.325 kPa でオゾン 1.995 g/m

3

が 1 000 ppm

8.2 

濃度計

8.2.1 

濃度計の種類及び原理 

濃度計の種類及び原理の概要を,

表 に示す。

表 9−濃度計の種類及び原理の概要 

濃度計の種類

測定原理の概要

測定対象

紫外線吸収式

紫外線領域 253.7 nm 付近でのオゾンの吸光度を測定し,オゾン濃度
を算出する。

気相

直接法

紫外線領域 253.7 nm 付近での液中のオゾンの吸光度
を測定し,溶存オゾン濃度を算出する。

液相

間接法

液中のオゾンを気相へ置換後,気相オゾン濃度の測

定をし,分配係数及び水温で補正することによって
溶存オゾン濃度を算出する。

隔膜ポーラログラフ式

隔膜を透過したオゾンが電極で還元されるときに,透過オゾン量に
比例して発生する電極間電流を測定し,オゾン濃度を算出する。

液相

定電位電解式

オゾンが電解液に溶解したときに生成したよう素を,電極で還元す
るとき流れる電流として測定し,オゾン濃度を算出する。

気相


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8.2.2 

試料採取の注意事項 

濃度計を使用する場合の試料採取に当たっては,オゾンの自己分解及び他の物質との反応が速いことを

考慮して,測定原理に適した方法で実施する。

a) 

気相及び液相に共通する試料採取の注意事項 

1)

管理点の濃度を代表する箇所から採取する。

2)

試料の導入管のオゾンと接触する部分は,オゾンに対して反応性の低いガラス,ふっ素樹脂,ステ

ンレス鋼などの材料を用いる。

3)

試料の導入管は,可能な限り短く,かつ採取速度を大きくし,接触時間をできるだけ短くする。ま

た,配管内に付着している油脂などのオゾン反応成分を除去するなど表面の安定化を図るため,あ

らかじめ一定時間以上オゾンと接触させておく。

4)

測定の妨害になる成分が混入している場合は,必要に応じてその影響を除去するために,適切な前

処理をする。

b)

気相における試料採取の注意事項  ダスト,妨害ガス及び水蒸気が共存し,オゾン濃度の測定に影

響を及ぼす場合は,必要に応じてその影響がないように 8.2.4 a)に規定する前処理を行う。

c)

液相における試料採取の注意事項  液相におけるオゾンは,自己分解及び気相への散逸が大きいた

め,次のような注意が必要である。

1)

配管内の空隙部及び試料水の滞留部が生じないように配管を行う。

2)

試料水中に浮遊物質などが存在していることが考えられる場合には,これらが濃度計に混入しない

ように 8.2.4 b)に規定する前処理を行う。

8.2.3 

管理点個別の注意事項 

管理点における個別の注意事項を,

表 10 に示す。

表 10−管理点における注意事項 

管理点

注意事項

M1 
(気相)

試料採取口には,流量調整が可能で不要時にガスの遮断ができる弁を取付けることが望ましい。

M2 
(液相)

試料水に圧力がない場合,試料採取系の最終段階に脈動の少ないポンプを挿入し,採取する。直
接ポンプなどで吸引する場合,通水直後は,残留する気泡への散逸,配管内のオゾン分解などに

よって誤差が生じないように必要な安定時間を確保する。 
配管が長い場合又は屈曲が多く管内に析出物などが付着するおそれのあるときは,随時洗浄を行
う。

流量が変動すると配管内の付着物及び沈殿物が流出することがあるため,試料採取時及び採取直
前に流量を変更してはならない。

M3 
(気相)

試料採取圧力が正圧でも低い場合又は負圧になっている場合は,試料採取ポンプによる吸引が必
要となる。また,試料採取配管の施工を行う場合,途中で高湿ガス中の凝縮水などによる水溜り
が生じるような配管は避ける。

M4 
(気相)

排オゾン分解装置では,処理剤を通過するオゾンの流速が不均一になり,部分的にオゾン処理能
力が低下する場合があるので,排オゾン吸引装置の出口で濃度が均一な箇所から採取を行うのが
望ましい。

M5 
(気相)

処理装置及び配管の漏えいをいち早く確認できるような箇所で試料採取を行う。特に,ガス圧の
高い配管の接合部分などの近傍から試料採取を行うことが望ましい。


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8.2.4 

前処理 

前処理は,次による。

a)

気相  気相の試料採取において,水蒸気,ダストなどが含まれ,それらの影響で測定結果に誤差を生

じる可能性がある場合は,適切な前処理をする。気相試料の管理点における前処理フロー例を,

図 2

及び

図 に示す。

1)

フィルタ  試料ガス中に含まれるダスト,ミストなどの粒子状物質を除去する。材質は,オゾンと

の反応性の低いふっ素樹脂などが適しており,使用時は試料通過速度も大きくし,オゾンの減少を

抑える。このほか,フィルタ面に付着した物質によってオゾンの分解が生じることがあるため,フ

ィルタは随時交換する必要がある。特に,管理点 M4 及び M5 の測定のときには,試料採取管の内

壁に付着した物質によってオゾンが分解することを防ぐために,試料採取点の直近に取り付ける。

2)

トラップ  採取したガス中に混入した水分及び試料採取導管内で凝縮した水を,試料から分離す

る。

3)

除湿器  水蒸気の干渉を受ける測定方式では,必要に応じて試料ガス中の水蒸気を除去する電子除

湿器又は膜式ドライヤーを使用する。

図 2−気相の管理点(M1M4 及び M5)における前処理フロー例 

図 3−気相の管理点(M3)における前処理フロー例 

b) 

液相  濃度計の種類,特性などによって影響の差はあるが,一般的に試料水中の浮遊物質及び気泡

は,測定誤差の原因となるのでフィルタ及び試料に含まれる気泡を取り除く気液分離器などを設ける。

液相試料の管理点(M2)における前処理フロー例を,

図 に示す。

図 4−液相の管理点(M2)における前処理フロー例 

フィルタ

気液分離器

濃度計

試料採取点

試料採取配管

トラップ

除湿器

フィルタ

濃度計

試料採取点

試料採取点

フィルタ

濃度計


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8.2.5 

各管理点において適用する濃度計 

適用する濃度計は,

表 11 による。

表 11−各管理点において適用する濃度計 

管理点

対象濃度範囲例

a) 

適用する濃度計

M1 
(気相)

空気原料:0∼50 g/m

3

(N)

酸素原料:0∼200 g/m

3

(N)

設置・切替時

紫外線吸収式

運用時

M2 
(液相)

0∼10 mg/L

設置・切替時

紫外線吸収式(間接式又は直接式)

隔膜ポーラログラフ式

運用時

M3 
(気相)

0∼10 g/m

3

(N)

設置・切替時

紫外線吸収式

運用時

M4 
(気相)

0∼1 ppm

設置・切替時

紫外線吸収式

運用時

M5 
(気相)

0∼1 ppm

設置・切替時

紫外線吸収式(検出下限 0.001 ppm) 
定電位電解式(検出下限 0.001 ppm)

運用時

a)

  オゾンの質量濃度と体積濃度との換算は,次による(JIS B 7957 参照)。

− 0

℃,101.325 kPa(標準状態)でオゾン 2.141 g/m

3

が 1 000 ppm

− 20

℃,101.325 kPa でオゾン 1.995 g/m

3

が 1 000 ppm

8.3 

検知器

8.3.1 

検知器の種類及び原理 

検知器は,漏えい又は精度を要求しない濃度の目安を得るための手段として用いる

。検知器の種類及び

原理の概要を,

表 12 に示す。

表 12−検知器の種類及び原理の概要 

検知器の種類

測定原理の概要

測定対象

半導体式

オゾンが吸着されることによって生じる半導体の電気抵抗の変化を

測定し,オゾン濃度を算出する。

気相

検知管式

インジゴを付着した担体が封入されたガラス管内に,一定容積の試

料を通気したときのオゾンによる変色層の長さから,オゾン濃度を
算出する。

気相

液中のオゾンを気相に置換して気相用検知管によって溶存オゾン濃
度を算出する。一般に,間接法に分類される。

液相

8.3.2 

試料採取の注意事項 

試料採取に当たっては,オゾンを取り扱う装置の配管周辺からの漏えいをいち早く確認できるような箇

所で,各検知器の測定原理に適した方法で行う。

a) 

半導体式検知器の設置方法及び試料採取方法  開放雰囲気中に設置し自然に拡散したオゾンを測定

する方法と,雰囲気の試料ガスを送気又は吸引して測定する方式とがある。

1)

周囲の温度,水分の影響が大きい。特に,自然拡散によるオゾン測定の場合,空調などの気流の影

響で検知素子の温度が変化し感度が変動するため,これらの影響の少ない場所を選定する。

2)

測定範囲上限を超えるオゾンに長時間さらされると,感度が低下する場合があるため,このような

場所には長時間用いない。

b) 

検知管式検知器の試料採取方法  検知管式検知器の試料採取方法は,次による。


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1)

気相  試料の採取には,JIS K 0804 に規定するガス採取器を用いる。

2)

液相  検知管式検知器(間接式)の試料採取例を,図 に示す。

2.1)

試料を採取する容器は,事前に試料で数回置換洗浄を行う。

2.2)

採取する試料は,シリンジなどの採水器で速やかに採取する。

2.3)

採取した試料を散気筒に移し,空気を散気しながら試料に含まれるオゾンの全量を検知管に通気

する。

フィルタ

ポンプ

逆止弁

散気筒

テフロン栓

検知管

図 5−検知管式検知器の管理点(M2)における試料採取例 

8.3.3 

各管理点において適用する検知器 

適用する検知器は,

表 13 による。

表 13−各管理点において適用する検知器 

管理点

対象濃度範囲例

a) c)

適用する検知器

M2 
(液相)

0∼10 mg/L

設置・切替時

検知管式(間接式)

運用時

M3 
(気相)

0∼10 g/m

3

(N)

設置・切替時

検知管式

運用時

M4

b)

(気相)

0∼1 ppm

設置・切替時

検知管式

運用時

M5 
(気相)

0∼1 ppm

設置・切替時

半導体式,検知管式

運用時

a) 

  検知管による濃度測定値は通常,常温・常圧時における値である。

b)

  管理点 M4 に適用する検知器は,0.1 ppm における感度があるものの,精度及び選択性の制約から,オ

ゾン漏えい検知だけを目的とする。

c)

  表の対象濃度範囲は,この規格の対象とする処理装置において計測され得る範囲であり,現存する検

知器が全測定範囲を測定できるものとは限らない。


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定期保守・点検 

9.1 

作業従事者 

処理装置,濃度計は,定期的な保守・点検及び部品交換を実施しなければならない。処理装置の使用者

及び保守・点検に従事する者(以下,従事者という。

)は,オゾンに関する高度な知識をもつことが必要

である。

9.2 

計画・マニュアル策定 

処理装置,濃度計の定期点検項目及び保守管理時期などの計画,並びに保守点検マニュアルは,受渡当

事者間で事前に定めておく。

9.3 

作業環境 

9.3.1 

立ち入り制限 

使用者は,従事者以外が処理装置内に入らないよう措置を講じなければならない。

9.3.2 

オゾン濃度の確認 

従事者は,オゾンを検知できる手段を備えて,オゾン濃度が 0.1 ppm 以下であることを確認して作業す

る。

9.4 

記録及び保存 

従事者は,保守・点検結果を記録・保存しなければならない。記録は,受渡当事者間で情報を共有する。


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附属書 A

(規定)

発生オゾン濃度特性曲線

序文 

オゾン発生器の投入電力と発生オゾン濃度とについては,同一発生環境下において,発生器固有の一定

の特性が得られ,あらかじめこれらの関係を得ておくと,投入電力を測定することで,発生オゾン濃度を

概算することができる。

A.1 

発生オゾン濃度特性曲線 

発生オゾン濃度特性曲線とは,オゾン発生器で発生するオゾン濃度と,オゾン発生器への投入電力(又

は放電電力)との関係を示した特性曲線である(

図 A.1)。この関係は,オゾン発生器の性能を示した資

料として用いられ,運転管理にも用いることができる。

図 A.1−発生オゾン濃度特性曲線(例) 

特性曲線は,数表として示される場合もある。投入電力については,発生濃度の代わりに,最大投入電

力を 100 %とした設定率で表示する場合もある(

表 A.1 参照)。

表 A.1−発生オゾン濃度特性(例) 

投入電力(W)

500

1 000

1 500

2 000(max)

設定率(%)

(最大電力に対する割合) 25

50

75

100

発生濃度[g/m

3

 (N)] 50

100

135

160

A.2 

利用上の留意事項 

 特性曲線又は数表に影響を与えるガス種(酸素又は空気),ガス流量,ガス圧力,冷却水温度,冷却水

量など必要な設定条件を付記する。また,設定条件は,定期点検時に見直す。


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附属書 B

(参考)

オゾン漏れ箇所の確認方法

序文 

管理点 M5 でオゾンの漏えいを検出しても,どこで漏えいしているかを特定することは困難な場合が多

い。このような場合,オゾン漏えいの可能性のある場所にこの方法を適用することで,漏えいの箇所及び

程度を発見することができる。処理装置の接続部分などに適用すると有効である。

なお,この方法は,気密試験(定期点検,修理,設置・切替時などの装置停止時),石けん水などを用

いたガス漏れ試験(日常点検及び定期点検時)などによる確認によっても漏えいが認められなかった場合

に適用する方法である。

B.1 

作業環境の事前確認 

作業環境の事前確認は,次による。

a)

作業環境雰囲気の換気が,十分に行われていることを確認する。

b)

作業環境雰囲気の環境オゾン濃度が,0.1 ppm 以下であることを確認する。

B.2 

確認方法の手順 

確認方法の手順は,次による。

a) 10

%よう化カリウム溶液を調製する。

b)

漏えい確認部分に,紙,布などの担体を密着する。

c) 10

%よう化カリウム溶液を密着した担体に吹き付ける。

d)

所定時間密着状態で 30 分程度放置する。

e)

オゾン漏えいの有無を目視で確認する。10 %よう化カリウム溶液を用いた場合は,茶色に変色す

る。

注記  漏えい箇所の検出例(配管フランジ部)を,図 B.1 に示す。

B.3 

補足事項 

a)

市販のよう化カリウムでんぷん試験紙を用いてもよい。この場合は,青に変色する。

b)

試薬の担体は,オゾンと反応して変色する試薬を安定に担持でき,かつ,通気性のよい物で,しかも

使用期間においてオゾンの劣化を受けないものであればよい。


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図 B.1−確認方法によるオゾン漏えい箇所の検出例(配管フランジ部)