B 9920：2002
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____________________________________________________
主 務 大 臣：経済産業大臣 制定：昭和
50.5.1 改正：平成 14.9.20
官 報 公 示：平成
14.9.20
原
案 作 成 者：社団法人日本空気清浄協会
（〒
103-0004 東京都中央区東日本橋一丁目 4-7 TEL 03-5833-7660）
財団法人日本規格協会
（〒
107-8440 東京都港区赤坂 4 丁目 1-24 TEL 03-5770-1573）
審 議 部 会：日本工業標準調査会 標準部会（部会長 杉浦 賢）
審議専門委員会：産業機械技術専門委員会（委員会長 岡村 弘之）
この規格についての意見又は質問は，上記原案作成者又は経済産業省産業技術環境局
標準課産業基盤標準化推進室
（〒
100-8901 東京都千代田区霞が関 1 丁目 3-1）にご連絡ください。
なお，日本工業規格は，工業標準化法第
15 条の規定によって，少なくとも 5 年を経過する日までに日本工業標準調査
会の審議に付され，速やかに，確認，改正又は廃止されます。
日本工業標準調査会標準部会
産業機械技術専門委員会 構成表
氏名
所属
（委員会長）
岡 村 弘 之
東京理科大学
朝 田 泰 英
財団法人電力中央研究所
大 地 昭 生
日本内燃機関連合会
大 湯 孝 明
社団法人日本農業機械工業会
岡 崎 治 義
社団法人日本建設機械化協会
重 久 吉 弘
財団法人エンジニアリング振興協会
竹 原 敏 郎
農林水産省生産局
筒 井 康 賢
独立行政法人産業技術総合研究所
西 本 德 生
厚生労働省労働基準局
橋 元 和 男
国土交通省総合政策局
平 野 正 明
社団法人日本機械工業連合会
藤 咲 浩 二
社団法人日本産業機械工業会
松 山 新一郎
株式会社豊田自動織機
宮 川 嘉 朗
社団法人全国木工機械工業会
B 9920：2002
（
1）
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まえがき
この規格は，工業標準化法第
14 条によって準用する第 12 条第 1 項の規定に基づき，社団法人日本空気
清浄協会
(JACA)／財団法人日本規格協会(JSA)から，工業標準原案を具して日本工業規格を改正すべきとの
申出があり，日本工業標準調査会の審議を経て，経済産業大臣が改正した日本工業規格である。
これによって，
JIS B 9920：1989 は改正され，この規格に置き換えられる。
改正に当たっては，日本工業規格と国際規格との対比，国際規格に一致した日本工業規格の作成及び日
本工業規格を基礎にした国際規格原案の提案を容易にするために，
ISO 14644-1：1999，Cleanrooms and
associated controlled environments─Part 1：Classification of air cleanliness を基礎として用いた。
この規格の一部が，技術的性質をもつ特許権，出願公開後の特許出願，実用新案権，又は出願公開後の
実用新案登録出願に抵触する可能性があることに注意を喚起する。主務大臣及び日本工業標準調査会は，
このような技術的性質をもつ特許権，出願公開後の特許出願，実用新案権，又は出願公開後の実用新案登
録出願にかかわる確認について，責任はもたない。
JIS B 9920 には，次に示す附属書がある。
附属書
A（参考）清浄度クラス（表 1）のグラフ表示
附属書
B（規定）光散乱式粒子計数器による清浄度クラスの評価方法
附属書
C（規定）粒子濃度測定結果の統計処理
附属書
D（参考）対象粒径範囲外にある粒子濃度の表示法
附属書
E（規定）逐次サンプリングによる評価法
附属書
1（参考）JIS と対応する国際規格との対比表
B 9920：2002
（
2）
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目 次
ページ
序文･････････････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
1
1. 適用範囲 ･････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
1
2. 引用規格 ･････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
1
3. 定義 ･････････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
1
3.1 一般 ････････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
1
3.2 浮遊微粒子(airborne particle) ････････････････････････････････････････････････････････････
2
3.3 粒径範囲以外の粒子濃度の表示方法(descriptors) ･･･････････････････････････････････････････
2
3.4 占有状態(occupancy states) ･･････････････････････････････････････････････････････････････
2
3.5 その他 ･･････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
2
4. 清浄度クラス ･････････････････････････････････････････････････････････････････････････
2
4.1 占有状態 ････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
2
4.2 クラス数 ････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
3
4.3 清浄度に関する仕様の表記 ･････････････････････････････････････････････････････････････
3
5. 空気清浄度の実証 ･････････････････････････････････････････････････････････････････････
3
5.1 原則 ････････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
3
5.2 試験 ････････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
4
5.3 浮遊微粒子上限濃度･･･････････････････････････････････････････････････････････････････
4
5.4 試験結果 ････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
4
6. 粒子計測試験及び試験頻度 ･･････････････････････････････････････････････････････････････
4
附属書
A（参考）清浄度クラス（表 1）のグラフ表示 ･･････････････････････････････････････････
5
附属書
B（規定）光散乱式粒子計数器による清浄度クラスの評価方法 ････････････････････････････
6
附属書
C（規定）粒子濃度測定結果の統計処理 ････････････････････････････････････････････････
9
附属書
D（参考）対象粒径範囲外にある粒子濃度の表示法 ･･････････････････････････････････････
10
附属書
E（規定）逐次サンプリングによる評価法 ･･････････････････････････････････････････････
11
附属書
1（参考）JIS と対応する国際規格との対比表 ･･･････････････････････････････････････････
13
解 説･･･････････････････････････････････････････････････････････････････････････････････
16
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日本工業規格
JIS
B 9920
：
2002
クリーンルームの空気清浄度の評価方法
Classification of air cleanliness for cleanrooms
序文 この規格は，
1999 年に第 1 版として発行された ISO 14644-1，Cleanrooms and associated controlled
environments─Part1：Classification of air cleanliness を翻訳し，技術的内容を変更して作成した日本工業規格
である。
なお，この規格で点線の下線を施してある箇所は，原国際規格を変更している事項である。変更の一覧
表をその説明を付けて，
附属書
1 に示す。
1.
適用範囲 この規格は，クリーンルーム及びこれに関連する制御された環境（以下，クリーンルーム
施設という。）における空気清浄度の浮遊微粒子濃度によるクラス分類及びその評価法について規定する。
分類は，粒径
0.1
µm～5 µm の範囲における粒径以上の累積個数濃度によって行う。ただし，粒径 0.1 µm
未満の超微粒子と
5
µm を超える粗大粒子については，それぞれ U 表示，M 表示で表すことができる。
このクラス分類は，浮遊微粒子の物理的，化学的性質を特徴付けるために用いてはならない。また，こ
の規格で規定する粒径と上限濃度との関係は，クラス分類を行うためのもので，実際の粒径分布を表すも
のではない。
備考 この規格の対応国際規格を，次に示す。
なお，対応の程度を表す記号は，
ISO/IEC Guide 21 に基づき，IDT（一致している），MOD
（修正している），
NEQ（同等でない）とする。
ISO 14644-1：1999，Cleanrooms and associated controlled environments─Part1：Classification of air
cleanliness (MOD)
2. 引用規格 次に掲げる規格は，この規格に引用されることによって，この規格の規定の一部を構成す
る。これらの引用規格は，その最新版（追補を含む。）を適用する。
JIS B 9921 光散乱式自動粒子計数器
JIS Z 8101-1 統計─用語と記号─第 1 部：確率及び一般統計用語
JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語
3.
定義 この規格で用いる主な用語の意味は，
JIS Z 8122，JIS B 9921 及び JIS Z 8101-1 によるほか，次
による。
3.1
一般
3.1.1
清浄度クラス
(classification of air cleanliness) クリーンルームに適用される浮遊微粒子による空気
清浄度の等級。クラス
N で表され，対象となる粒径に対する上限濃度（空気 1 m
3
当たり粒子数）を示す。
備考
1.
空気清浄度の等級は，
4.2 の式(1)による N で表し，クラス N と表記する。
2.
クラス
1～クラス 9 までが適用範囲である。
2
B 9920：2002
著作権法により無断での複製，転載等は禁止されております。
3.
清浄度の等級として，中間クラスを用いることができ，最小の区切りを
0.1 とする。すなわ
ち中間クラスは，クラス
1.1～クラス 8.9 まで表記することができる。
4.
クラスは，施工完了時，製造装置設置時及び通常運転時のクリーンルームの占有状態（
3.4
参照）のいずれにおいても適用できる。
3.2
浮遊微粒子
(airborne particle)
3.2.1
粒径
(particle size) 浮遊微粒子の測定装置によって計測される球体の相当直径。
備考 光散乱式自動粒子計数器では，浮遊微粒子の粒径は光散乱相当径である。
3.2.2
粒径分布
(particle size distribution) 粒径の関数としての粒子累積濃度。
3.2.3
超微粒子
(ultrafine particle) 粒径 0.1
µm 未満の粒子。
3.2.4
粗大粒子
(macroparticle) 粒径 5
µm を超える粒子。
3.2.5
繊維状粒子
(fibre) アスペクト比が 10 以上である粒子。
3.3
粒径範囲以外の粒子濃度の表示方法
(descriptors)
3.3.1
U 表示(U discriptor) 超微粒子を含む空気 1 m
3
当たりの浮遊微粒子濃度の表示方法。
3.3.2
M 表示(M discriptor) 空気 1 m
3
当たりの粗大粒子濃度の表示方法。
3.4
占有状態
(occupancy states)
3.4.1
施工完了時
(as-built) 施工が完了し，設備が接続され，クリーンルーム施設が運転されているが，
生産のための装置，器具，作業者のない状態。
3.4.2
製造装置設置時
(at-rest) 施工が完了し，クリーンルーム施設が運転されており，生産のための装
置が設置され，使用者と供給者との協議による状態の運転が行われているが，作業者がいない状態。
3.4.3
通常運転時
(operational) 設備が指示どおりに機能しており，指示どおりの人数が適切な方法で活
動している状態。
3.5 その他
3.5.1 95 %上側信頼限界(UCL) クリーンルーム施設での測定粒子濃度の空間の平均と標準偏差から，母
集団の濃度をスチューデント
t 分布によって危険率 5 ％で推定した濃度値。測定点数 2～9 の場合に用いる。
3.5.2 局所平均粒子濃度 測定点における時間平均粒子濃度。
3.5.3 空間平均粒子濃度 測定点における時間平均粒子濃度の空間平均値。
3.5.4 逐次サンプリング評価方法 各測定点の計測を連続的に行い，測定した累積粒子数とサンプリング
空気量から期待される参照値との比較によって清浄度クラスの適否を判定する方法。清浄度クラス
4 又は
それより清浄な空間に利用できる。
3.5.5 上限参照値 逐次サンプリング評価方法で用いられる，式(E.1)で示される粒子個数。不適合の判定
に利用される。
3.5.6 下限参照値 逐次サンプリング評価方法で用いられる，式(E.2)で示される粒子個数。適合の判定に
利用される。
3.5.7 期待される累積粒子数 逐次サンプリング評価方法で用いられる，式(E.3)で示され上限濃度，累積
サンプリング空気量から算出される粒子個数の期待値。
3.5.8 計測される累積粒子数 逐次サンプリング評価方法で用いられる，計測値の累積個数
4.
清浄度クラス
4.1
占有状態 クリーンルームの清浄度クラスは，
3 種類の占有状態，すなわち“施工完了時”，
“製造装
置設置時”又は“通常運転時”のうち一つ以上の状態で定義される(
3.4 参照)。
3
B 9920：2002
著作権法により無断での複製，転載等は禁止されております。
4.2
クラス数 浮遊微粒子の清浄度は，クラス数
N で指定される。それぞれの対象粒径 D の上限濃度 C
n
は，次の式で定義される。
2.08
0.1
10
×
=
D
C
N
n
･･･････････････････････････････････････････
(1)
ここに，
C
n
： 浮遊微粒子の上限濃度（空気
1 ｍ
3
当たり）。粒径
D 以
上の粒子を対象とする。
C
n
は，有効数字
3 けたとし，端数は切捨てとする。
N： クラス数。1～9。中間クラスは 1.1～8.9。
D： 測定粒径（
µm）。
0.1： 定数（
µm）。
表
1 に清浄度クラスと測定粒径ごとの上限濃度を示す。附属書図 A.1 は，表 1 をグラフで表示したもの
である。表中にない中間クラス及び測定粒径の場合には，上限濃度
C
n
は式(
1)による。
表
1 清浄度クラス
上限濃度（個/ｍ
３
）
測定粒径
清浄度
クラス(N)
0.1
µ
m
0
µ
m
0
µ
m
0
µ
m
1
µ
m
5
µ
m
クラス 1
10
2
クラス 2
100
24
10
4
クラス 3
1 000
237
102
35
8
クラス 4
10 000
2 370
1 020
352
83
クラス 5
100 000
23 700
10 200
3 520
832
29
クラス 6
1 000 000
237 000
102 000
35 200
8 320
293
クラス 7
352 000
83 200
2 930
クラス 8
3 520 000
832 000
29 300
クラス 9
35 200 000
8 320 000
293 000
備考 有効数字 3 けた以内の濃度データを使用して，分類レベルを決定する。
4.3
清浄度に関する仕様の表記 クリーンルームにおける浮遊微粒子の清浄度に関する仕様の表記には，
次の項目を含めるものとする。
a)
“クラス
N”で表示されるクラス数
b) 占有状態
c)
対象粒径及びその上限濃度
例 クラス
4；通常運転時；0.2
µm(2 370 個/m
3
)，
1
µm(83 個/m
3
)
対象粒径は，当事者間の協議によって決定される。
対象粒径が複数の場合，
2 粒径の比は 1.5 倍以上でなければならない。
例
2
D ≧
1
1.5 D
×
ここに，
D
1
，
D
2
：対象粒径
5.
空気清浄度の実証
5.1
原則 使用者が指定した空気清浄度（清浄度クラス）の実証は，使用者と供給者との合意に基づく，
文書化した試験手順によって実施され，試験結果と試験条件とを記した報告書を提示することによってな
される。
4
B 9920：2002
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5.2
試験 実証するための評価の方法は，附属書
B による。同等の精度をもつ代替方法を規定すること
も可能であるが，方法が指定されていない場合及び同意に至らなかった場合は，参照試験方法を採用しな
ければならない。ただし，クラス
4 から清浄な清浄度クラスの評価では，附属書 E に示す逐次サンプリン
グによることができる。
実証試験には，校正された機器を使用しなければならない。
5.3
浮遊微粒子上限濃度 附属書
B の方法によって試験を終了した後，平均粒子濃度及び必要に応じて
95 ％上側信頼限界を，附属書 C を用いて算出する。附属書 C の式（C.1）によって算出した平均粒子濃度
は，
4.3 c)で合意した対象粒径に対して，4.2 の式(1)によって算出した上限濃度を超えてはならない。また，
測定点数が
2～9 の場合，附属書 C の式（C.3）に従って算出した 95 %上側信頼限界は，上限濃度を超えて
はならない。
附属書
E の方法に従い試験を終了した場合，すべての測定点で上限濃度を超えてはならない。
対象粒径が複数の場合は，クラス決定のための粒子濃度は，同じ方法で測定しなければならない。
5.4
試験結果 クリーンルーム施設における試験結果は，
記録し，報告書として提出しなければならな
い。報告書には，浮遊微粒子の仕様清浄度クラスに対する適合又は不適合を明記するとともに，次の内容
が含まれなければならない。
a)
試験機関の名称，所在地，試験実施日
b) JIS 及び ISO 番号及び発効（行）年
例
JIS B 9920：2002［ISO 14644-1：1999（E）］
c)
試験対象のクリーンルーム施設の位置（必要であれば隣接部分の情報を含む）及びすべての測定位置
の情報
d) クリーンルーム施設における清浄度クラス，占有状態及び対象粒径に関する合意仕様事項
e)
試験方法の詳細情報 特別の試験条件及び除外条件並びに使用した装置及び機器の校正証明書
f)
試験結果の詳細 すべての測定点の粒子濃度データを含む。
備考 超微粒子又は粗大粒子の濃度を附属書
D に従って測定した場合，関連する情報を報告書に表記
しなければならない。
6. 粒子計測試験及び試験頻度 空気中浮遊微粒子の清浄度クラスを保証するために，クリーンルーム施
設を定期的に試験することが必要である。試験条件を
表
2 に示す。
表
2 粒子計測試験及び試験頻度
清浄度クラス
最大試験間隔
試験の方法
クラス
5 より清浄なクラス
6 か月
附属書
B
クラス
5 を超えるクラス
12 か月
附属書
B
備考
1. 粒子計測試験は，通常，クリーンルーム施設の通常運転時で実施する。また，指定さ
れた清浄度クラスの分類に従い，製造装置設置時でも実施することがある。
2. クリーンルーム施設において，浮遊微粒子濃度と差圧とを連続的又は多頻度（60 分以
内）でモニタリングしている場合では，最大試験間隔を協議のうえ延長することがで
きる。この場合には，仕様範囲内を示すモニタリングの結果を記録として保管してお
くことが必要である。
5
B 9920：2002
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附属書
A（参考）清浄度クラス（表 1）のグラフ表示
図
A.1 は，本体の表 1 に示した清浄度クラスのグラフ表示であるが，表示目的だけに使用する。表 1 の
クラスは，対象の限界粒径に対する上限濃度を示すものである。その数値は，
4.2 の式(1)によって算出さ
れる。図中の線は，単に上限濃度を近似したものであり，上限値の決定には使用してはならない。グラフ
に示されたクラスの線の両端は，クラスの最大と最小粒子径とを示したものである。範囲を超えて外挿し
てはならない。クラスの線は，実際のクリーンルーム施設の粒径分布を示すものではない。
図
A.1 清浄度クラスの上限濃度のグラフ
6
B 9920：2002
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附属書
B（規定）光散乱式粒子計数器による清浄度クラスの評価方法
B.1 原則 清浄度クラスを評価するためには，設定された測定点における対象粒径以上の浮遊粒子濃度を，
粒子計数器を用いて測定する。粒子計数器は個々の浮遊微粒子について粒径別に計数できなければならな
い。
B.2 測定器の要件
B.2.1 粒子計数器 使用する粒子計数器は，対象の清浄度クラスの適切な粒径範囲の粒子濃度を検出でき
る粒径弁別機能をもつ，空気中の粒子の個数と粒径の表示又は記録ができなければならない。適切なサン
プリング機構を備えていることが必要である。原則として，光散乱式粒子計数器（
JIS B 9921 に規定する
光散乱式自動粒子計数器をいう。）を使用する。
B.2.2 機器校正 測定器は，有効な校正証明書を備えていなければならない。校正の頻度及び方法は，現
在容認されている要綱に基づくことが望ましい。
B.3 予備試験の条件
B.3.1 試験の準備
清浄度試験に先立ち，クリーンルーム施設の運転性能が完全であり，かつ，運転特性
が仕様どおりに機能していることを確認するため，予備試験を行う。
予備試験の例を，次に示す。
a)
風量又は風速試験
b) 差圧試験
c)
誘引リーク試験
d) 設置されたフィルタのリーク試験
試験頻度を規定する予備試験の項目は，使用者と供給者との協議による。一般には，
表
B.1 とする。
表
B.1 予備試験の項目と頻度
試験項目
最大試験間隔
風量又は風速試験
(
1
)
12 か月
差圧試験
(
2
)
12 か月
注
(
1
) 風量は，気流速度又は空気流量の測定法によって求められる。
(
2
) この試験は，全体として閉じられていない空間の清浄区域には適用しない。
備考
1. これらの試験は，通常，指定された清浄度クラスに応じて，通常運転時又は製造装置設置時
に実施する。
2. 予備試験を要するクリーンルーム施設において，浮遊微粒子濃度と差圧とを連続的又は多頻
度（
60 分以内）でモニタリングしている場合では，最大試験間隔を協議の下に延長すること
ができる。この場合には，仕様範囲内を示すモニタリングの結果を記録として保管しておく
ことが必要である。
B.3.2 予備試験の機器立上げ 使用説明書に従って，機器を立上げ，予備校正を行う。
B.4 サンプリング
B.4.1 測定位置の確定 次の式(B.1)によって，測定点数の最少値を求める。
7
B 9920：2002
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A
NL
=
･･････････････････････････････････････････････････
(B.1)
ここに，
NL： 測定点数の最少値（整数表示）
A： クリーンルーム施設の面積（m
2
）
備考
1.
一方向水平流形の場合，面積
A は風向に直角な断面積と考えてよい。
サンプリング位置は，クリーンルーム施設の測定面内に均等に配置し，高さは，作業面高
さとする。
使用者が，サンプリング点数の増加を指示した場合は，その数及び位置を協議のうえ文書
化しなければならない。
2.
追加される測定点は，不可欠でリスク分析に基づいた測定点の場合がある。
B.4.2 測定点における測定当たりの最少サンプリング空気量の決定 各測定点における最少サンプリング
空気量は，式(
B.2)による最少サンプリング空気量 V
s
以上とし，サンプリング時間は最少
1 分間，かつ，サ
ンプリング空気量は最少
2×10
－
3
m
3
を満たさなければならない。
m
n
C
V
,
s
20/
000
1
×
=
･･････････････････････････････････････････
(B.2)
ここに，
V
s
： 測定点における最少サンプリング空気量（
10
－
3
m
3
）
C
n,m
： 当該仕様クラスにおける最大対象粒径に対する濃度上
限値（個
/m
3
）
20： 粒子濃度がクラス上限値の場合に計数が期待される粒
子数
備考
1.
V
s
は，各測定点における対象粒子径の中の最大粒径の粒子濃度が，選定された清浄度クラス
の上限値において，最少粒子数である
20 個が検出されると推定される空気量である。
2.
V
s
が非常に大きい場合，サンプリングに要する時間は相当なものとなろう。逐次サンプリン
グ法（附属書
E 参照）を利用することによって，必要なサンプルリング空気量，及びサンプ
リング時間を減じることができる。
B.4.3 サンプリングの手順
B.4.3.1 使用説明書及び機器校正の証明書に従い，粒子計数器(B.2.1)を立ち上げる。
B.4.3.2 サンプリング吸入端を上流に向けて置く。非一方向流又は気流方向が不確定若しくは予測できな
い場合は，サンプリング吸入端は上向きに設置する。
B.4.3.3 各サンプリング点において B.4.2 で決定した最少サンプリング空気量以上をサンプリングする。
B.4.3.4 B.4.1 で求めた測定点が 1 点だけの場合，その測定点で 3 回以上サンプリングする。
B.5 結果の記録
B.5.1 各測定点における平均粒子濃度
B.5.1.1 当該空気清浄度クラスに適合した対象粒径（複数）を本体 3.3 によって，各々の濃度として測定
値を記録する。
備考
95 %上側信頼限界の計算を行う前に，B.6.1 による必要要件を考慮するのが望ましい。
B.5.1.2 測定点が 1 点の場合，各対象粒径に対する測定値の平均値を計算し記録する。
B.5.1.3 測定点において 2 以上サンプリングがされた場合は，附属書 C の C.2 の手順に従って，個々の測
定粒子濃度から各々の対象粒子径における平均粒子濃度を計算する（
B.5.1.1）。
B.5.2 95 %上側信頼限界（UCL）の計算の必要な条件
B.5.2.1 測定点数が 2 以上で 9 以下の場合，附属書 C の C.3 に規定する手順に従い，全測定点数の平均粒
子濃度
(B.5.1)から，平均の全平均，標準偏差，及び 95 %上側信頼限界を計算する。
8
B 9920：2002
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B.5.2.2 測定点が 1 点の場合及び測定点が 9 点を超える場合には，95 %上側信頼限界の計算は不要である。
B.6 結果の解釈
B.6.1 クラスへの適合条件 各測定点において測定された平均粒子濃度，及び必要な場合 B.5.2 の計算さ
れた
95 %上側信頼限界が，4.2 の上限値を超えていないならば，当該クリーンルーム施設は設定された空
気清浄度クラスに適合しているとみなされる。
試験結果が設定された空気清浄度クラスに適合しない場合，
更に追加された均等に配置された測定点に
おいて再試験を行うことができる。追加された測定点のデータを含めた，
再計算の結果に基づき決定され
る。
B.6.2 異常値の扱い 95 %上側信頼限界の計算結果は，設定された清浄度クラス上限値に適合しない場合
がある。誤りがあるとおもわれる測定（不適切な手順又は測定器の故障による。）によって検出された異常
に高い
1 点の粒子濃度値又は異常に低い粒子濃度値（例外的な清浄空気の吸引）によって不適合となった
場合，その異常値は，次の条件を満たした場合には計算から除くことができる。
a)
残りのすべての測定点を用いて再計算ができる。
b) 少なくとも，計算に必要な 3 個の測定値が残っている。
c)
この計算から，
1 点の測定値以外は排除されない。
d) 誤りがあるとおもわれる測定又は低濃度測定値の推測される理由が明記され，使用者と供給者とが了
承している。
9
B 9920：2002
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附属書
C（規定）粒子濃度測定結果の統計処理
C.1 適用範囲 この統計処理は測定に伴うランダムな誤差要因だけを対象とするものであり，測定器の校
正不良などに起因する非ランダムな誤差要因を対象としてはいない。
C.2 各測定点における局所平均粒子濃度(
i
x )の算出 各測定点において複数回のサンプリングを行った場
合には，その測定点における局所平均粒子濃度は，次の式(
C.1)によって算出する。すべての測定点におい
て
2 回以上のサンプリングを行い，式(C.1)によって局所平均粒子濃度を算出する。
n
x
x
x
x
n
i
i
i
i
,
,2
,1
+
+
+
=
Λ
･･････････････････････････････････････
(C.1)
ここに，
i
x ： 測定点
i
における局所平均粒子濃度
,1
i
x ～
n
i
x
,
： 測定点
i
におけるサンプリングごとの粒子濃度
n
： 測定点
i
でのサンプリング回数
C.3 95 %上側信頼限界の算出
C.3.1 原則 この手法は，測定点が 2～9 か所の場合に適用される。式(C.1)によって算出した局所平均粒子
濃度を用いて以下の計算を行う。
C.3.2 空間平均粒子濃度( x )の算出 次の式(C.2)によって，空間平均粒子濃度を算出する。
m
x
Λ
x
x
x
m
)
(
2
1
+
+
+
=
･･･････････････････････････････････････
(C.2)
ここに，
x
： 空間平均粒子濃度
1
x ～
m
x ： 式(C.1)によって計算した，各測定点での局所平均
粒子濃度
m
： 測定点の数
すべての測定点での局所平均粒子濃度は，測定点のサンプリング回数にかかわらず同様の重みとする。
C.3.3 空間粒子濃度の標準偏差の算出 空間粒子濃度の標準偏差は，次の式(C.3)によって求める。
1)
(
)
(
)
(
)
(
2
2
2
2
1
−
−
+
+
−
+
−
=
m
x
x
x
x
x
x
s
m
Λ
･･････････････････････
(C.3)
ここに，
s
：空間粒子濃度の標準偏差
C.3.4 95 %上側信頼限界(UCL)の算出 95 %上側信頼限界(UCL)は，次の式(C.4)によって求める。
)
(
%UCL
95
1,0.95)
(
m
s
t
x
m
−
+
=
･････････････････････････････････
(C.4)
ここに，
)
95
.
0
,
1
(
−
m
t
：
95 %上側信頼限界の係数
95 %上側信頼限界の係数 t
(m−1,0.95)
は，スチューデントｔ分布に基づき，
表
C.1 に示す。
表
C.1 95 ％上側信頼限界の係数
測定点の数
( )
m
2
3
4
5
6
9
t
(m−1,0.95)
6.3
2.9
2.4
2.1
2.0
1.9
10
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附属書
D（参考）対象粒径範囲外にある粒子濃度の表示法
D.1 基本方針 対象粒径範囲が 0.1
µm 未満又は 5 µm を超える場合には，必要に応じて U 表示，M 表示に
よる清浄度レベルを使用してもよい。そのような粒子の最大許容濃度と試験方法の選択は，使用者と供給
者との協議事項である。
D.2 粒径 0.1
µm 未満の超微粒子─U 表示
D.2.1 適用 対象粒径が 0.1
µm 未満の超微粒子を測定する場合には，適切なサンプリング装置と測定手順
を用いる必要がある。
測定位置の最少値は，
B.4.1 に従って決める。また，最少サンプリング空気量 V
s
は，
2 リットル（B.4.2）
とする。
D.2.2 U 表示の形式 超微粒子に対する清浄度レベルである U 表示は，単独で用いてもよいし，空気中浮
遊粒子の清浄度クラスに対する補足として用いてもよい。
U 表示は，次の形式で表す。
U（x；y）
ここに，
x： 超微粒子の最大許容濃度（個/m
3
），
y： 測定最小粒径［計数効率 50 ％］（
µm）
例
U(140 000；0.01
µm)：0.01 µm 以上の超微粒子の最大許容濃度が，140 000 個/m
3
である清浄度レ
ベルを表す。
D.3 粒径 5
µm を超える粗大粒子─M 表示
D.3.1 適用 対象粒径が 5
µm を超える粗大粒子を測定する場合には，適切なサンプリング装置と測定手
順を用いる必要がある。粗大粒子の場合には，粒子の密度，形状，体積及び空気力学的挙動のような要因
を考慮に入れる必要がある。また，粗大粒子には，繊維状粒子など特定要素に着目する場合もある。
D3.2 M 表示の形式 粗大粒子に対する清浄度レベルである M 表示は，単独で用いてもよいし，空気中
浮遊粒子の清浄度クラスに対する補足として用いてもよい。
M 表示は，次の形式で表す。
M（a；b）；c
ここに，
a： 粗大粒子の最大許容濃度（個/m
3
），
b： 測定対象粒径［等価径］（
µm）
c： 測定方法
備考 繊維状粒子の場合，
”M
fibre
(a;b);c”と表示する。
例
1.
M(10 000；>5
µm)；タイムオブフライト粒子計数器：タイムオブフライト粒子計数器で粒径 5 µm
を超える粗大粒子濃度を測定した清浄度レベルが
10 000 個/m
3
であることを表す。
例
2.
M(1 000； 10～20
µm)；カスケードインパクタ及び顕微鏡法：カスケードインパクタ及び顕微
鏡法で粒径
10～20
µm の粗大粒子濃度を測定した清浄度レベルが 1 000 個/m
3
であることを表す。
11
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附属書
E（規定）逐次サンプリングによる評価法
E.1 適用範囲 逐次サンプリング評価法は，評価する清浄度クラスがクラス 4 又はそれより清浄なクラス
の場合に適用してもよい。
E.2 評価方法
E.2.1 参照値 逐次サンプリングによる評価方法は，計測した累積粒子数とサンプリング空気量から期待
される参照値との比較によって行われる。
上限と下限とを表す参照値は，次の式によって求められる（
図
E.1 参照）。
サンプリング空気量から期待される累積粒子数は，式（
E.3）による。
E
C
1.03
3.96
H
+
=
･･･････････････････････････････････････････
(E.1)
E
C
1.03
3.96
L
+
−
=
･･････････････････････････････････････････
(E.2)
n
C
t
V
E
⋅
⋅
=
････････････････････････････････････････････････
(E.3)
ここに，
H
C ： 上限参照値(個)
L
C ： 下限参照値(個)
E
： サンプリング空気量から期待される累積粒子数(個)
V ： サンプリング流量(m
3
/s)
t
： サンプリング時間(s)
C
n
： 浮遊微粒子の上限濃度(個/m
3
)
E.2.2 図 E.1 による判定方法 計測される累積粒子数と期待される累積粒子数とを図 E.1 にプロットし，
次の条件まで測定を続け判定する。
a)
計測された累積粒子数が下限参照値よりも小さいときには，サンプリングされたその空気は，指定清
浄度クラス又は濃度限界を満足し，サンプリングはその時点で終了とする。
b) 計測された累積粒子数が上限参照値又は 20 を超えたときには，サンプリングされた空気は, 指定清浄
度クラス又は濃度限界を満足しないとし，サンプリングはその時点で終了とする。
c)
計測された累積粒子数が上限値と下限値との間にある限り，サンプリングは期待される累積粒子数
20
まで続けられる。
d) 期待される累積粒子数が 20 になった時点で，計測された累積粒子数が 20 以下の場合，指定清浄度ク
ラス又は濃度限界を満足したとする。
12
B 9920：2002
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図
E.1 逐次サンプリング方法による合否の領域
13
B 9920：2002
附属書
1（参考）JIS と対応する国際規格との対比表
JIS B 9920：2001 クリーンルームの空気清浄度の評価方法
ISO 14644-1：1999 クリーンルームと関連制御環境（パート 1
空気清浄度）
(Ⅰ)JIS の規定
(Ⅲ)国際規格の規定
(Ⅳ)JIS と国際規格との技術
的差異の項目ごとの評価及び
その内容
表示箇所：本体，附属書
表示方法：点線の下線
項目
番号
内容
(Ⅱ)国際規格番号
項目
番号
内容
項 目 ご と の
評価
技術的差異の
内容
(Ⅴ)JIS と国際規格との技術的差異の
理由及び今後の対策
1
適用範囲
ISO 14644-1
1
適用範囲
IDT
2
引用規格
MOD/追加
関連
JIS の追加
3
定義
2
定義
IDT
3.1
一般
2.1
一般
IDT
2.1.1
クリーンルーム
MOD/削除
JIS Z 8122 に内容が含まれる。
2.1.2
クリーンゾーン
MOD/削除
JIS Z 8122 に内容が含まれる。
2.1.3
施設
MOD/削除
JIS Z 8122 に内容が含まれる。
3.1.1
清浄度クラス
2.1.4
清浄度クラス
IDT
3.2
浮遊微粒子
2.2
浮遊微粒子
IDT
2.2.1
粒子
MOD/削除
JIS Z 8122 に内容が含まれる。
3.2.1
粒径
2.2.2
粒径
IDT
2.2.3
粒子濃度
MOD/削除
JIS Z 8122 に内容が含まれる。
3.2.2
粒径分布
2.2.4
粒径分布
IDT
3.2.3
超微粒子
2.2.5
超微粒子
IDT
3.2.4
粗大粒子
2.2.6
粗大粒子
IDT
3.2.5
繊維状粒子
2.2.7
繊維状粒子
IDT
3.3
粒 径 範 囲 以 外 の 粒
子濃度の表示方法
2.3
粒径範囲以外の粒子濃度
の表示方法
IDT
3.4
占有状態
2.4
占有状態
IDT
2.5
役割分担
MOD/削除
JIS Z 8122 に内容が含まれる。
13
B 9920
：
2002
著作権法
により
無断で
の複製
，転載
等は禁
止され
ており
ます。
14
B 9920：2002
(Ⅰ)JIS の規定
(Ⅲ)国際規格の規定
(Ⅳ)JIS と国際規格との技術
的差異の項目ごとの評価及び
その内容
表示箇所：本体，附属書
表示方法：点線の下線
項目
番号
内容
(Ⅱ)国際規格番号
項目
番号
内容
項 目 ご と の
評価
技術的差異の
内容
(Ⅴ)JIS と国際規格との技術的差異の
理由及び今後の対策
3.5
その他
MOD/追加
附属書
E を規定としたことに関連
し追加
4
清浄度クラス
3
清浄度クラス
IDT
5
空気清浄度の実証
4
空気清浄度の実証
MOD/選択
附属書
E を規定とした。
6
粒 子 計 測 試 験 及 び
試験頻度
MOD/追加
クリーンルームを維持，管理する
ためには，粒子計測試験と試験頻
度とを明確にしておく事が必要で
あり，
ISO 14644-2 の 4.2 の内容を
追加した。
附属書
A
(参考)
清浄度クラス
(表 1)
のグラフ表示
附属書
A
(参考)
清浄度クラス（表
1）の
グラフ表示
IDT
附属書
B
(規定)
光 散 乱 粒 子 計 数 器
に よ る 清 浄 度 ク ラ
スの評価方法
附属書
B
(規定)
光散乱粒子計数器による
清浄度クラスの評価方法
MOD/追加
予備試験に当たっては，予備試験
項目と頻度を明確にしておくこと
が必要であり，
ISO 14644-2 の 4.2
の内容を追加した。
附属書
C
(規定)
粒 子 濃 度 測 定 結 果
の統計処理
附属書
C
（規定）
粒子濃度測定結果の統計処理
IDT
附属書
D
（参考）
清浄度クラス計算例
MOD/削除
計算例は規格上特に必要としない
ため，計算例は不要とした。
附属書
D
(参考)
対 象 粒 径 範 囲 以 外
に あ る 粒 子 濃 度 の
表示法
附属書
E
（参考）
対象粒径範囲以外にある
粒子濃度の表示法
IDT
附属書
E
(規定)
逐 次 サ ン プ リ ン グ
による評価法
附属書
F
(参考)
逐次サンプリングによる
評価法
MOD/変更
JIS B 9920：1989 では評価方法と
して逐次サンプリング法を規定し
ており，これとの継続性をもたせ
るため，参考ではなく規定として
採用した。
著作権法
により
無断で
の複製
，転載
等は禁
止され
ており
ます
14
B 9920
：
2002
15
B 9920：2002
JIS と国際規格との対応の程度の全体評価：MOD
備考
1.
項目ごとの評価欄の記号の意味は，次のとおりである。
─
IDT ･････････技術的差異がない。
─
MOD/削除 ････国際規格の規定項目又は規定内容を削除している。
─
MOD/追加 ････国際規格にない規定項目又は規定内容を追加している。
─
MOD/変更 ････国際規格の規定内容を変更している。
─
MOD/選択 ････国際規格の規定内容と別の選択肢がある。
2. JIS と国際規格との対応の程度の全体評価欄の記号の意味は，次のとおりである。
─
MOD ････････国際規格を修正している。
15
B 9920
：
2002
著作権法
により
無断で
の複製
，転載
等は禁
止され
ており
ます