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日本工業規格

JIS

 B

7430

-1977

 UDC

531.717.82

オプチカルフラット

Optical Flats

1.

適用範囲  この規格は,平らな測定面をもつ透明なガラスで作られ,光波干渉による平面度測定に用

いるオプチカルフラット(以下,フラットという。

)について規定する。ただし,干渉計その他の測定機の

部品として使用されるものは除く。

2.

種類  フラットの種類は,測定面が片面のものと両面のものとの区別及び呼びによって,表 のとお

り区分する。

表 1

測定面

呼び

片面

 45

 60

両面

 80

100

130

3.

等級  フラットは性能により,1 級,2 級及び 3 級の三つに区分する。

なお,0 級の性能を参考として示すが,これは規格の一部ではない。

4.

性能  フラットの性能は,その測定面の平面度(以下,平面度という。)で表し,その許容値は表 2

による。


2

B 7430-1977 UDC 531.717.82

表 2

単位

µm

等級

平面度の許容値

1

0.05

2

 0.1

3

 0.2

0

(参考)

  0.025

5.

形状及び寸法  フラットの形状は,円板状とし,その寸法は,表 による。

表 3

単位 mm

呼び

外径  (D)

外径の許容差

厚さ  (T)  の範囲

 45

 45

 9

∼11

 60

 60

0

−0.7

12

∼15

 80

 80

16

∼20

100 100

21

∼25

130 130

0

−1.2

26

∼32

6.

材料及び外観  フラットに用いる材料は,内部ひずみを十分に除去した透明な高品質のクラウンガラ

ス・石英ガラス又はこれと同等以上の品質を有するガラスとし,使用上差し支えのある脈理,気ほう,着

色,きずなどがあってはならない。

7.

平面度の測定方法  フラットの平面度は,基準平面(

1

)

を用いて光波干渉じまを測定し,次の式から求

める(

図参照)。

a

b

F

×

=

2

λ


3

B 7430-1977 UDC 531.717.82

ここに

F

:  平面度  (

µm)

a

:  干渉じまの中心間隔 (mm)

b

:  干渉じまの曲り量 (mm)

λ

:  使用する光の波長  (

µm)

ただし,式中の

a

b

は,

表 に示す周辺の幅を除いた範囲内における最大値を用いる。

表 4

単位 mm

呼び

周辺の幅

 45

 60

 80

2

100

130

3

(

1

)

基準平面は,平面度及び大きさがフラットの平面度測定に支障のないものを用いる。 

8.

検査  フラットの検査は,性能,形状,寸法,材料及び外観について行い,4.5.及び 6.の規定に適合

しなければならない。

9.

製品の呼び方  フラットの呼び方は,規格番号又は規格名称,種類及び等級による。

なお,材料に石英ガラスを用いたものは,末尾に記号Qを付ける。

例:JIS B 7430 片面 45 1 級Q

10.

表示  フラットには,その側面に製造業者名(又はその略号若しくは商標),製造番号,呼び及び等級

を表示する。

なお,測定面が片面の場合だけ,測定面を矢印の方向をもって表示する。材料に石英ガラスを用いたも

のだけ記号Qを表示する。