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B 7184 : 1999

(1) 

まえがき

この規格は,工業標準化法に基づいて,日本工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が改正した日

本工業規格である。これによって JIS B 7184 : 1972 は改正され,この規格に置き換えられる。


日本工業規格

JIS

 B

7184

 : 1999

測定投影機

Profile projectors

序文  この規格は,日本工業規格の独自のものであり,対応する国際規格はない。

1.

適用範囲  この規格は,長さ,角度,輪郭などを測定する測定投影機について規定する。測定投影機

は,投影レンズ,スクリーン,照明装置,載物台又は精密十字動テーブル及びこれらを保持する本体から

なる(

付図 1,付図 2,付図 参照)。

2.

引用規格  次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成す

る。これらの引用規格は,その最新版を適用する。

JIS B 7181

  映写レンズの解像力試験標板

JIS B 7526

  直角定規

JIS B 7536

  電気マイクロメータ

JIS B 7541

  標準尺

JIS R 6001

  研削といし用研磨材の粒度

3.

定義  この規格に用いる主な用語の定義は,次による。

a)

X

軸  投影面で左右方向に移動する精密十字動テーブルの軸

b)  Y

軸  投影面で 軸に直交する方向に移動する精密十字動テーブルの軸

c)

測定精度  実際の測定状態において,測定投影機で標準器を測定した際に得られる精度

4.

性能  性能は,表 による。ただし,許容値は,20℃におけるものとする。

5.

表示  測定投影機の本体には,製造業者名又はその略号及び製造番号を,投影レンズには呼び倍率を

表示しなければならない。


2

B 7184 : 1999

表 1  性能

番号

項目

測定方法

説明図

測定用具

許容値

1

テーブルの 軸移動方

向と 軸移動方向との
直角度

テーブル上面にテー

ブルの 軸移動方向
と平行に直角定規の
使用面を置き,他辺

の使用面に投影レン
ズ取付部などに固定
した電気マイクロメ

ータなどを当てて,
テーブルを 軸方向
に移動させたときの

指示の振れの最大値
を求める。

付図 直角定規(JIS B 7526

に規定された I 形 1
級)又はこれと同等
の性能をもつもの。

電気マイクロメータ
JIS B 7536 に規定
されたもの)又はこ

れと同等の性能をも
つもの。

(4.5

+0.06L)

µm 以下

ここに,L:テーブル移動量 (mm) 
で測定範囲全域について適用す
る。

X

軸方向

2

投 影 レ ン ズ
の 透 過 照 明
に よ る 倍 率

精度

Y

軸方向

テーブル上面に標準
尺を置き,その投影
像 を スク リ ーン

*

中心を原点として,
読取り用の標準尺で
測定して得られた倍

率と呼び倍率との誤
差を百分率で表す。

標準尺(JIS B 7541
に規定された 01 級
又は 1

µmの精度で校

正されたもの)又は
これと同等の性能を
もつもの。読取り用

標準尺(JIS B 7541
に規定された 3 級)
又はこれと同等の性

能をもつもの。

呼び倍率の±0.15%

X

軸方向

3

投 影 レ ン ズ

の 反 射 照 明
に よ る 倍 率
精度

Y

軸方向

テーブル上面に標準

尺を置き,その投影
像 を スク リ ーン

*

中心を原点として,

読取り用の標準尺で
測定して得られた倍
率と呼び倍率との誤

差を百分率で表す。
なお,このとき透過
照明装置と標準尺と

の間に,標準尺から

20mm

離れた位置に

拡散板を置き,拡散

光によって照明を行
う。また,半透過鏡
のあるものは,これ

を 付 け て 測 定 を 行
う。

付図 標準尺(JIS B 7541

に規定された 01 級
又は 1

µmの精度で校

正されたもの)又は

これに準じる性能を
もつもの。読取り用
標準尺(JIS B 7541

に規定された 3 級)
又はこれと同等の性
能をもつもの。拡散

板(JIS R 6001 によ
る粒度#800 の砂を
用いて板ガラスを砂

ずりしたもの)

呼び倍率の±0.25%


3

B 7184 : 1999

番号

項目

測定方法

説明図

測定用具

許容値

4

投影レンズの透過照明
による解像力 
(リレーレンズ方式を

除く)

テーブル上面に解像
力検査用チャートを
置 き ,ス ク リー ン

*

中心部で最も像が鮮
明になるように焦点
を合わせ,認識でき

る最小の図票の値を
測定値とする。図票
の向きは,条線の一

つの方向が視野の中
心から見て放射方向
に な る よ う に 定 め

る。

解像力検査用チャー
ト(JIS B 7181 に規
定されたもの)又は

これと同等の性能を
もつもの。

単位  本/mm

5

投影レンズの反射照明

による解像力 
(リレーレンズ方式を
除く)

テーブル上面に解像

力検査用チャートを
置 き ,ス ク リー ン

*

中心部で最も像が鮮

明になるように焦点
を合わせ,認識でき
る最小の図票の値を

測定値とする。図票
の向きは,条線の一
つの方向が視野の中

心から見て放射方向
に な る よ う に 定 め
る。なお,このとき

透過照明とチャート
との間に,チャート
から 20mm 離れた位

置に拡散板を置き,
拡散光によって照明
を行う。また,半透

過鏡のあるものは,
これを付けて測定を
行う。

付図 解像力検査用チャー

ト(JIS B 7181 に規
定されたもの)又は
これと同等の性能を

もつもの。 
拡散板(JIS R 6001
による粒度#800 の

砂を用いて板ガラス
を砂ずりしたもの)

単位  本/mm

6

回転スクリーン十字線
の回転中心に対する同
心度

テーブル上面に十字
線 な ど の 指 標 を 置
き,回転スクリーン

に投影し,回転スク
リーンを回転させ,
回転中における回転

スクリーン十字線の
変 位 の 量 を 読 み 取
る。

付図 十字線チャートなど 0.3mm 以下

7

回転スクリーンの回転
角度の測定精度

テーブル上面に十字
線チャートを置き,

回転スクリーンに投
影し,回転スクリー
ンでこれの角度を測

定し,その誤差の最
大差を求める。

付図 30"以 下 で 校 正 さ れ

た 90°の十字線チャ

ート

4

以下


4

B 7184 : 1999

番号

項目

測定方法

説明図

測定用具

許容値

X

軸方向

8

各 軸 の 測 定
精度

Y

軸方向

テーブル上面中央に
その移動方向と平行
に標準尺を置き,測

定投影機でこれを測
定しながらテーブル
を送り,その全測定

範囲について測定投
影機の読みと標準尺
の移動した長さとの

差を求め,任意の 2
点 間   (L)  内 の 開 き
の最大値を求める。

付図 標準尺(JIS B 7541

に規定された 01 級
又は 1

µmの精度で校

正されたもの)又は
これと同等の性能を
もつもの。

各方向とも (6+0.04 L)

µm 以下

ここに,L:測定長 (mm) で測定
範囲全域について適用する。

9

倍率変換による像移動

テーブル上面に十字
線 な ど の 指 標 を 置

き,その測定投影機
で使用する最高倍率
の投影レンズを用い

てスクリーン中央に
合わせ,次に任意の
投影レンズに変倍又

はズーム動作を行い
指標の移動量を求め
る。

十字線チャートなど 物体面上で 0.5 mm 以下

10

スクリーン十字線の角
度精度

テーブル上面に十字
線チャートを置き,

ス ク リ ー ン に 投 影
し,スクリーン十字
線との角度のずれ量

を求める。

付図 30"以 下 で 校 正 さ れ

た 90°の十字線チャ

ート

90

°±2 以下

*

透明スクリーンの場合は,適切な透過拡散スクリーンを置く。


5

B 7184 : 1999

備考  この図は説明図であり,構造又は形状を示すものではない。

付図 1  縦形測定投影機光軸上向き形


6

B 7184 : 1999

備考  この図は説明図であり,構造又は形状を示すものではない。

付図 2  縦形測定投影機光軸下向き形


7

B 7184 : 1999

備考  この図は説明図であり,構造又は形状を示すものではない。

付図 3  横形測定投影機光軸横向き形

付図 4  直角度の測定


8

B 7184 : 1999

付図 5  倍率精度及び解像力の測定

付図 6  十字線の同心度の測定

付図 7  回転角度の測定


9

B 7184 : 1999

付図 8  各軸の測定精度

付図 9  十字線の角度精度の測定


10

B 7184 : 1999

JIS B 7184

  投影検査器専門委員会  構成表

氏名

所属

(委員長)

岩  崎  茂  雄

工業技術院計量研究所量子部

紺  野  吉  承

キヤノン株式会社品質標準推進部

成  島  静  枝

セイコー電子工業株式会社品質保証室

増  山  利  勝

ソニー株式会社 SPC プロキュアメントセンター

木  下      進

シチズン時計株式会社生産本部生産技術部

片  桐  正  秀

オリンパス光学工業株式会社光学機器開発部

岡  本  興  宣

神港精機株式会社技術部

沖  田  雪  男

株式会社トプコン生産技術部

藪  崎  憲  司

株式会社トプコン産業機器技術部測定機技術 G

大  家      清

株式会社ニコン MS 企画室

海老沢  秀  侑

株式会社ミツトヨ商品開発部

馬  場  秀  俊

通商産業省機械情報産業局

本  間      清

通商産業省工業技術院標準部

(事務局)

今  城  雅  雄

日本光学測定機工業会