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日本工業規格

JIS

 B

7153

-1995

測定顕微鏡

Measuring microscopes

1.

適用範囲  この規格は,長さ,角度,輪郭などを測定する測定顕微鏡について規定する(付図 参照)。

備考1.  この規格の引用規格を,次に示す。

JIS B 7184

  投影検査器

JIS B 7432

  角度標準用多面鏡

JIS B 7526

  直角定規

JIS B 7536

  電気マイクロメータ

JIS B 7538

  オートコリメータ

JIS B 7541

  標準尺

2.

この規格の中で,

{  }を付けて示してある単位及び数値は,従来単位によるものであって参

考として併記したものである。

2.

用語の定義  この規格に用いる主な用語の定義は,次による。

(1)

観測顕微鏡  焦点板をもつ顕微鏡で,対物レンズを通してつくられた像を映像又は画像にする機能を

もつもの。

(2)  X

軸  対物レンズの光軸と直角をなすテーブルの左右方向の軸。

(3)  Y

軸  対物レンズの光軸と直角をなすテーブルの前後方向の軸。

(4)

輸郭測定用対物レンズ  型板接眼レンズと組み合わせて,形状などの輪郭を測定するための対物レン

ズ。

(5)

測定精度  実際の測定状態において,測定顕微鏡で長さ標準器を測定した際に得られる精度。

3.

等級  測定顕微鏡の等級は,性能によって 0 級及び 1 級の 2 等級とする。

4.

性能  性能は,表 による。ただし,許容値は 20℃におけるものとする。


2

B 7153-1995

表 1  性能

番号

項目

測定方法

説明図

測定用具

許容値

X

軸方向

Y

軸方向

 1

テーブル移

動に対する
上面の平行
度又は振れ

回転方向

対物レンズ取付部に電気マ

イクロメータなどを取り付
け,載物ガラス上面にその
電気マイクロメータなどを

当てて,テーブルを移動さ
せたときの指示の振れの最
大値を求める。

付図 電気マイクロメー

タ(JIS B 7536 に規
定されたもの)又は
これに準じる性能

をもつもの。

載物ガラス上面各方向とも

0

級 (7.5+0.025 L)

µm 以下

1

級 (15.0+0.050 L)

µm 以下

L

はテーブル移動量 (mm)

で測定範囲全域について適
用する。

X

軸方向

 2

テーブル移
動の水平面

内における
真直度

Y

軸方向

テーブル上面に精密直定規
の使用面を垂直にして移動

方向と平行に置き,対物レ
ンズ取付部に取り付けた電
気マイクロメータなどをこ

れに当てて,テーブルを移
動させたときの指示の振れ
の最大値を求める。

付図 精密直定規(許容値

5

1

以 下 の 精 度 で

校正されたもの),
電気マイクロメー
タ(JIS B 7536 に規

定された 0.2

µm よ

り精密なもの)又は
これに準じる性能

をもつもの。

各方向とも

0

級 (0.5±0.01 L)

µm 以下

1

級 (1.0+0.02 L)

µm 以下

L

はテーブル移動量 (mm)

で測定範囲全域について適

用する。

 3

テーブルの X 軸移動
方向と Y 軸移動方向

との直角度

テーブル上面にテーブルの

X

軸移動方向と平行に精密

直角定規の使用面を置き,
他辺の使用面に,対物レン
ズ取付部に取り付けた電気

マイクロメータなどを当て
て,テーブルを Y 軸方向に
移動させたときの指示の振

れの最大値を求める。

付図 精密直角定規(直角

度 が 許 容 値 の

5

1

下の精度で校正さ
れたもの),電気マ
イクロメータ(JIS 

B 7536

に規定され

た 0.2

µm より精密

なもの)又はこれに

準じる性能をもつ
もの。

0

級 (1.5+0.02 L)

µm 以下

1

級 (3.0+0.04 L)

µm 以下

L

はテーブル移動量 (mm)

で測定範囲全域について適
用する。

 4

角 度 回 転 テ ー ブ ル 回
転中心の振れ

角度回転テーブル上面の中
心に十字線などの指標を置
き,観測顕微鏡で観測しな

がら角度回転テーブルを回
し,これの振れが最小とな
るまで心出しを行い,この

ときの指標の変位の最大値
を テ ー ブ ル 移 動 量 で 求 め
る。

付図  10

µm 以下

X

軸方向

 5

テーブル移
動方向と鏡
筒上下動方

向との直角

Y

軸方向

テーブル上面にテーブルの
移動方向と平行に直角定規
の使用面を載せ,他辺の使

用面に,鏡筒の対物レンズ
取付部などに取り付けた電
気マイクロメータなどの検

出器を対物レンズの同焦点
距離の位置に当てて,テー
ブ ル 上 面 か ら 上 方 へ 移 動

し,電気マイクロメータの
指示の振れの最大値を求め
る。

付図 直 角 定 規 ( JIS B 

7526

に規定された

Ⅰ型 1 級)

,電気マ

イクロメータ(JIS 

B 7536

に規定され

たもの)又はこれに

準じる性能をもつ
もの。

各方向とも

0

級 (2.5+0.1 L)

µm 以下

1

級 (5.0+0.2 L)

µm 以下

L

は鏡筒移動量 (mm) で測

定範囲全域について適用す
る。


3

B 7153-1995

番号

項目

測定方法

説明図

測定用具

許容値

X

軸方向

 6

輪郭測定用
対物レンズ
の倍率

Y

軸方向

テーブル上面にその移動方
向と平行に標準尺を置き,
接眼レンズ倍率検査用目盛

と標準尺目盛の像との差を
テーブル移動量によって読
み取り,その百分率を測定

値とする。

付図 標準尺(JIS B 7541

に規定された 01 級
又は 1

µm の精度で

校正されたもの)又
はこれに準じる性
能をもつもの。

 7

観 測 顕 微 鏡 の 透 過 照

明による解像力

載物ガラス上面に解像力検

査用チャートを置き,観測
顕 微 鏡 の 透 過 照 明 で 観 測
し,認識できるチャートの

最小値を測定値とする。

解像力検査用チャ

ート(JIS B 7184 
規定されたもの)又
はこれに準じる性

能をもつもの。

 8

角 度 接 眼 レ ン ズ 十 字
線 の 回 転 中 心 に 対 す

る同心度

テーブル上面に十字線など
の指標を置き,観測顕微鏡

で観測しながら角度接眼レ
ンズの十字線板を回転し,
その回転中における角度接

眼レンズの十字線の変位が
線幅以下であることを確認
する。

付図 

接眼レンズ十字線の線幅以下。

X

軸方向

 9

各軸の測定
精度

Y

軸方向

テーブル上面中央にその移
動方向と平行に標準尺を置
き,観測顕微鏡でこれを測

定 し な が ら テ ー ブ ル を 送
り,その全測定範囲につい
て測定顕微鏡の読みと標準

尺の移動した長さとの差を
求め,任意の 2 点間  (L)  内
の開きの最大値を求める。

付図 標準尺(JIS B 7541

に規定された 01 級
又は 1

µm の精度で

校正されたもの)又
はこれに準じる性
能をもつもの。

各方向とも

0

級 (2+0.01 L)

µm 以下

1

級 (4+0.02 L)

µm 以下

L

は測定長 (mm) で測定範

囲全域について適用する。

10

回転角度の
指示精度

角度接眼
レンズ

標線板を載せた角度標準用
多面鏡を回転テーブル中央

に置き,角度接眼レンズの
十 字 線 を こ の 標 線 に 合 わ
せ,次に角度接眼レンズの

十字線をその読みで 30°ご
と回転し,その都度角度標
準用多面鏡を回転して標線

を合わせたときのオートコ
リメータの読みを取り,そ
の最大差を求める。

付図 
10

角度標準用多面鏡
JIS B 7432 に規

定された 12 面鏡 0
級),標線板及びオ
ー ト コ リ メ ー タ

JIS B 7538 に規
定された目量 1″以
下のもの)

角度接眼レンズ,角度回転テー
ブルとも


4

B 7153-1995

番号

項目

測定方法

説明図

測定用具

許容値

角度回転
テーブル

角度回転テーブル中央に角
度標準用多面鏡を置き,角
度回転テーブルをその読み

で 30°ごと回転したときの
オートコリメータの読みを
取り,その最大差を求める。

付図 
11

角度標準用多面鏡
JIS B 7432 に規
定された 12 面鏡 0

級)及びオートコリ
メータ(JIS B 7538
に規定された目量

1

″以下のもの)

5.

外観,構造及び機能  測定顕微鏡の外観,構造及び機能は,次のとおりとする。

(1)

測定顕微鏡は,観測顕微鏡,精密十字動テーブル及びこれらを保持するベース,コラムなどからなる。

(2)

各部は,いずれも強度及び耐久力の良好な材料でつくられ,容易に摩耗及び変形が生じない構造であ

ること。

(3)

各部の塗装及びめっきは,強固であって,容易に色あせ,脱落又はさびが生じるおそれがないこと。

(4)

各部の作動は,その目的に応じて円滑,確実であり,容易にくるいが生じないこと。

(5)

光学部品には,接着剤切れ,くもり,かびがなく,有害な泡,脈理,きず,砂目,やけ,ごみなどが

なく,かつ,反射防止膜に有害なむら,きずなどがないこと。

(6)

光学系には実用上差し支えがある収差がなく,観測顕微鏡は全視野にわたって平面物体が鮮明に観測

できること。

(7)

対物レンズ,接眼レンズ及びその他の附属品の着脱が確実,かつ,容易であること。

(8)

各目盛線は鮮明で,読み取りが容易であること。

(9)

光源は,測定に有害な熱源とならないこと。

(10)

接眼レンズの視度調整範囲は,+2∼−6m

1

 {

±2∼−6Dptr}  以上であること。

(11)

載物ガラスの上面は,テーブル金属面より低くないこと。

(12)

十字動テーブルの移動量がディジタル表示される測定顕微鏡の表示装置は,次のとおりとする。

(a)

表示は鮮明で,読み取りが容易なこと。

(b)

通常の使用状態において,表示機能が十字動テーブルの移動に十分追従し,誤動作を起こさないこ

と。

(c)

通常の使用状態の温度及び湿度の変化に対して安定に作動すること。

(d)

周囲の電気的雑音によって容易に誤動作を起こさないこと。

(e)

電装系全般に接触不良がなく,規定内の電源電圧の変動に対して安定に作動すること。

6.

検査  測定顕微鏡の検査は,性能,外観,構造及び機能について行い,4.及び 5.の規定に適合しなけ

ればならない。

7.

表示  測定顕微鏡の本体には,製造業者名又はその略号及び製造番号を,対物レンズ及び接眼レンズ

には倍率を表示しなければならない。


5

B 7153-1995

付図 1  測定顕微鏡

備考  この図は説明図であり,構造又は形状を示すものではない。

付図 

付図 3


6

B 7153-1995

付図 

付図 5

付図 6

付図 7

付図 

付図 


7

B 7153-1995

付図 10

付図 11

JIS B 7153

  改正原案作成委員会  構成表

氏名

所属

(委員長)

松  本  弘  一

工業技術院計量研究所

池  谷  浩之輔

通商産業省機械情報産業局

山  村  修  蔵

工業技術院標準部

紺  野  吉  承

キヤノン株式会社

波多野      稔

キヤノン株式会社

折  笠  親  一

富士電機株式会社

木  下      進

シチズン時計株式会社

片  桐  正  秀

オリンパス光学工業株式会社

沖  田  雪  男

株式会社トプコン

大  家      清

株式会社ニコン

海老沢  秀  侑

株式会社ミツトヨ

飯  野  哲  男

ユニオン光学株式会社

(事務局)

今  城  雅  雄

日本光学測定機工業会